高純氯化1氫氣體用途，測(cè)量指示值非常穩(wěn)定。由于采用雙離子電極法測(cè)量原理，許多干擾因素會(huì)被抑制，所以測(cè)量指示值非常穩(wěn)定和準(zhǔn)確；加熱過濾塵埃，消除含水的影響。氯化1氫氣體，即使在含水量很低的情況下，也會(huì)被吸收，及其應(yīng)用技術(shù)處于世界先進(jìn)水平特別是在過濾的塵埃中含有一定量的水分的時(shí)候，提供了充足的原材料。它會(huì)吸收大量的氯1化氫，所以加熱過程過濾塵埃，可以減少含水量。逐步成為行業(yè)的整體系統(tǒng)供應(yīng)商。但在許多實(shí)驗(yàn)中,沒有充分考慮惰性氣體的影響,因而無法剝離某些因素的獨(dú)立影響。

電子混合氣配比的精度：隨著混合氣中產(chǎn)品組分的增加、配制精度的上升，常要求氣體供應(yīng)商能夠?qū)Χ喾N ppm（10-6）乃至 ppb（10-9）級(jí)濃度的氣體組分進(jìn)行精細(xì)操作，其配制過程的難度與復(fù)雜程度也顯著增大。 氣體儲(chǔ)運(yùn)：保證氣體在存儲(chǔ)、運(yùn)輸、使用過程中不會(huì)被二次污染，對(duì)氣瓶內(nèi)部、內(nèi)壁表面的處理涉及多項(xiàng)工藝，均依賴于長期的行業(yè)探索和研發(fā)；(二)、可燃性:H2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等。此外，對(duì)于某些具有高毒性或危險(xiǎn)性的氣體，需要使用負(fù)壓氣瓶儲(chǔ)運(yùn)，以減少危險(xiǎn)氣體泄露風(fēng)險(xiǎn)。

高純氣體用作零點(diǎn)氣的制作完全類似于氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的制作，但操作過程可以簡化。通常使用的稀釋氣體中的某種或某類雜質(zhì)含量低于分析方法所采用測(cè)量儀器的檢出量，則此種稀釋氣就可作為“零點(diǎn)”氣使用。 零點(diǎn)氣體是用于在給定的含量范圍內(nèi)，用給定的分析方法去校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)工作曲線的零點(diǎn)。當(dāng)其作為被測(cè)樣品進(jìn)入檢測(cè)儀表后，在儀器選下的測(cè)量范圍內(nèi)，僅呈現(xiàn)儀表零點(diǎn)的響應(yīng)值。高純氣體發(fā)展：近年來，隨著下游應(yīng)用領(lǐng)域的逐漸擴(kuò)大，品種的特種氣體也越來越高科技的應(yīng)用已經(jīng)成為不可缺少的基本原料。