誤差補(bǔ)償法，這種方法就是人為地造出一種新的原始誤差，支抵消原來工藝系統(tǒng)中固有的原始誤差，從而達(dá)到減少加工誤差，加工精度的目的。為了減少機(jī)械加工誤差，需對產(chǎn)生誤差的各項原始誤差進(jìn)行分析，根據(jù)不同情況對造成加工誤差的主要原始誤差采取不同的措施。機(jī)械元件的加工精度和表面質(zhì)量等加工質(zhì)量，是保證相關(guān)機(jī)械產(chǎn)品裝配質(zhì)量的基礎(chǔ)， 加工誤差的大小反映了加工精度的高低。

值得提醒的是，精密零部件的模具表面拋光處理工作，不僅僅只收到工藝工序和拋光設(shè)備的影響，同時還會受到零件材料鏡面度的影響，直接減少誤差法，這種方法是在生產(chǎn)中應(yīng)用較廣的一種基本方法。該法是在查明影響加工精度的主要原始誤差因素之后，設(shè)法對其進(jìn)行直接消除或減少。對于箱體、支架和連桿等零件應(yīng)先加工后加工孔。這樣以平面定位加工孔，保證平面和孔的位置精度，而且對平面上的孔的加工帶來方便。

工藝系統(tǒng)熱變形對加工精度的影響比較大，特別是在精密加工和大件加工中，由熱變形所引起的加工誤差有時可占工件總誤差的50%。在工件和刀具的材料、精加工余量及刀具角度一定的情況下，表面粗糙度取決于切削速度和進(jìn)給速度。精密機(jī)械加工是在嚴(yán)格控制的環(huán)境條件下，使用精密機(jī)床和精密量具和量儀來實現(xiàn)的。加工精度達(dá)到和超過 0.1微米稱超精密機(jī)械加工。