半導體凈化車間設(shè)計的設(shè)計范圍

半導體凈化車間設(shè)計的設(shè)計范圍包括：裝修方案（圍護、地面防水保溫處理），暖通方案（空調(diào)設(shè)備、風管、水管等），特氣供應(yīng)方案（特氣柜含保險控制、房間氣體監(jiān)測、EP級管道及BA管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設(shè)備POU處理、房間排風廢氣處理），電氣方案（空調(diào)設(shè)備動力配電等），弱電工程，集成控制智能平臺，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢水處理。

凈化廠房裝修具有很強的綜合性

凈化廠房裝修具有很強的綜合性，除了無塵車間運用到這個技術(shù)，醫(yī)院的手術(shù)室同樣需要。它與一般的工業(yè)廠房建筑設(shè)計不同的是要提供為實現(xiàn)產(chǎn)品生產(chǎn)所要求的潔凈環(huán)境，統(tǒng)籌解決好在平面和空間布局上出現(xiàn)的建筑防火、人員疏散之間的矛盾，特別要處理好潔凈區(qū)的建筑設(shè)計與潔凈區(qū)工藝設(shè)計、空氣凈化設(shè)計之間相互協(xié)調(diào)的問題，諸如順應(yīng)生產(chǎn)工藝流程、安排好與物流、潔凈區(qū)的氣流組織、建筑的氣密性和建筑裝飾的適用性等。

電子萬級潔凈室廠房特點

電子萬級潔凈室廠房特點：潔凈度等級要求高，風量、溫濕度、壓差、設(shè)備排風按需受控，照度、潔凈室截面風速按設(shè)計或規(guī)范受控，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤為嚴格。如果廠房過于干燥則易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。

一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。這時可有效地消除靜電，并使人感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等做出了嚴格的規(guī)定。

頂部技術(shù)夾層。在這種夾層內(nèi)一般因送、回風管的斷面,故作為

頂部技術(shù)夾層。在這種夾層內(nèi)一般因送、回風管的斷面，故作為夾層內(nèi)首先考慮的對象。一般將其安排在夾層的上方，其下安排電氣管線。當這種夾層的底板可承受一定重量時，可以在上面設(shè)置過濾器及排風設(shè)備等。房間技術(shù)夾層。這種方式和只有頂部夾層相比，可以減少夾層的布線與高度，可以省去回風管道返回上夾層所需的技術(shù)夾道。在下夾道內(nèi)還可設(shè)回風機動力設(shè)備配電等，某層潔凈室的上夾道可以兼做上一層的下夾道。