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光波超精密技術(shù)研究院——?dú)飧?dǎo)軌品牌
氣浮導(dǎo)軌氣膜的厚度大于兩個(gè)摩擦面的幾何不規(guī)則度,在氣膜中形成純流體摩擦其摩擦阻力完全為氣體的粘性所致.由于氣浮導(dǎo)軌無(wú)固體摩擦,因而具有可靠、長(zhǎng)壽命、以及摩擦系數(shù)極i小等特點(diǎn),其傳動(dòng)效率i高,速度適應(yīng)性好,且由于氣體的可壓縮性和流動(dòng)性,因而具有誤差均化作用,能保持一定的精度.氣浮導(dǎo)軌的承載能力、氣腔內(nèi)壓力分布及承載面積與氣腔內(nèi)壓力有關(guān)。
測(cè)量機(jī)的氣浮導(dǎo)軌(氣墊)按其作用可分為承載式氣墊、導(dǎo)向式氣墊和壓向式氣墊.圖3為 X向?qū)к墯鈮|分布(俯視圖). X向?qū)к墴o(wú)驅(qū)動(dòng)側(cè)有4個(gè)氣墊,上下各2個(gè).驅(qū)動(dòng)側(cè)有6個(gè)氣墊,其中①、②、③是承載式氣墊,依靠它們來(lái)承受整個(gè)移動(dòng)橋的重量,并保持一定的工作間隙.當(dāng)移動(dòng)橋沿 X向移動(dòng)時(shí),它們使橋框平行于 XY平面運(yùn)動(dòng),即限制了 Z向直線運(yùn)動(dòng)和繞 X、 Y軸轉(zhuǎn)動(dòng).④、⑤是引導(dǎo)式氣墊,限制了橋框繞 Z軸的直線度運(yùn)動(dòng)誤差和旋轉(zhuǎn).⑥是預(yù)緊性氣墊,使氣墊④、⑤在導(dǎo)軌間有一定的預(yù)緊力.
光波超精密氣浮導(dǎo)軌——?dú)飧?dǎo)軌品牌
直線氣浮導(dǎo)軌提供了一種非接觸式空氣軸承,可以代替?zhèn)鹘y(tǒng)的軸承式滑動(dòng)。由于采用了一體化的系統(tǒng)封裝,線性空氣滑軌由鋁多孔碳軸承(“平臺(tái)”)和精密鋁導(dǎo)軌組成。
線型氣動(dòng)滑塊具有已獲專利的氣動(dòng)軸承設(shè)計(jì),即多孔介質(zhì)技術(shù)?,可以通過(guò)在軸承表面形成薄而堅(jiān)硬的氣層來(lái)消除摩擦。碳素的自然滲透能力保證了空氣的均勻流動(dòng)。這一獨(dú)特的設(shè)計(jì)提高了精度和操作效率,并在氣源失靈時(shí)提供了堅(jiān)固、抗碰撞的設(shè)計(jì)。