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半導(dǎo)體氦檢漏服務(wù)常用指南【科創(chuàng)真空】

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發(fā)布時(shí)間:2020-12-09 08:02  






正壓法氦質(zhì)譜檢漏

采用正壓法檢漏時(shí),需對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室充入高于一個(gè)大氣壓力的氦氣,當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí),氦氣就會(huì)通孔漏孔進(jìn)入被檢外表面的周圍大氣環(huán)境中,再采用吸槍的方式檢測被檢產(chǎn)品周圍大氣環(huán)境中的氦氣濃度增量,從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏測量。氦氣怎么檢漏,氦氣檢漏就是利用了氦氣分子小能夠輕易進(jìn)入那些不被肉眼察覺的孔縫中,利用監(jiān)測儀器就能探測到孔縫中泄露出的氦氣。按照收集氦氣方式的不同,又可以將正壓法分為正壓吸槍法和正壓累積法。其中正壓吸槍法采用檢漏儀吸槍對被檢產(chǎn)品外表面進(jìn)行掃描探查,可以實(shí)現(xiàn)漏孔的; 正壓累積法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來,采用檢漏儀吸槍測量一定時(shí)間段前后的氦罩內(nèi)氦氣濃度變化量,實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。

正壓法的優(yōu)點(diǎn)是不需要輔助的真空系統(tǒng),可以,實(shí)現(xiàn)任何工作壓力下的檢測。

正壓法的缺點(diǎn)是檢測靈敏度較低,檢測結(jié)果不確定度大,受測量環(huán)境條件影響大。

正壓法的檢測標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3089-1999《氦質(zhì)譜正壓檢漏方法》、QJ2862-1996《壓力容器焊縫氦質(zhì)譜吸槍罩盒檢漏試驗(yàn)方法》,主要應(yīng)用于大容積高壓密閉容器產(chǎn)品的檢漏,如高壓氦氣瓶、艙門檢漏儀等。





真空壓力法氦質(zhì)譜檢漏

采用真空壓力法檢漏時(shí),需要將被檢產(chǎn)品整體放入真空密封室內(nèi),真空密封室與輔助抽空系統(tǒng)和檢漏儀相連,被檢產(chǎn)品的充氣接口通過連接管道引出真空密封室后,再與氦氣源相連,當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí),氦氣就會(huì)通過漏孔進(jìn)入真空密封室,再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀,從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。在設(shè)備和廠房當(dāng)中,常常有一些管道等連接的部位,這些地方的封接處可能存在肉眼難以察覺的細(xì)小孔洞,在使用時(shí)如果不注意就會(huì)導(dǎo)致泄露,從而造成事故。

真空壓力法的優(yōu)點(diǎn)是檢測靈敏度高,能實(shí)現(xiàn)任何工作壓力的漏率檢測,反映被檢件的真實(shí)泄漏狀態(tài)。

真空壓力法的缺點(diǎn)是檢漏系統(tǒng)復(fù)雜,需要根據(jù)被檢產(chǎn)品的容積和形狀設(shè)計(jì)真空密封室。這里需要說明在檢漏過程要求確保充氣管道接口無泄漏,或者采取特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)將所有充氣管道連接接口放置在真空密封室外部。

真空壓力法的檢測標(biāo)準(zhǔn)有GB /T 15823-2009《氦泄漏檢驗(yàn)》,主要應(yīng)用于結(jié)構(gòu)簡單、壓力不是特別高的密封產(chǎn)品,如電磁閥、高壓充氣管道、推進(jìn)劑貯箱、天線、應(yīng)答機(jī)、整星產(chǎn)品等。





保證試漏方向與使用中所受壓力方向相同

許多密封件有一個(gè)的安裝方向,且僅在這個(gè)方向才能起到密封作用。真空壓力法的優(yōu)點(diǎn)是檢測靈敏度高,能實(shí)現(xiàn)任何工作壓力的漏率檢測,反映被檢件的真實(shí)泄漏狀態(tài)。例如,徑向軸封件,這種徑向軸封件僅在一個(gè)方向有密封作用,相反方向?qū)⒊霈F(xiàn)漏泄。同樣,還有很多密封件都會(huì)有類似的情況。如果試漏方向與使用中所受壓力方向相同,將易于找到實(shí)際的漏孔而不至于受到報(bào)警的干擾。

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試漏壓力與運(yùn)行過程中受到的較大壓力相同

許多密封件是在一定的壓力閾值下出現(xiàn)泄漏。如果未在運(yùn)行過程的壓力下試漏,那么一些漏孔則不宜檢測出來。因此,在測漏過程中采用較高的測試壓力,可有效檢測出在實(shí)際運(yùn)行中未出現(xiàn)的漏孔。

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