氣瓶放置應(yīng)整齊，應(yīng)保持直立放置，妥善固定，且應(yīng)有防止傾倒的措施。ENPAC的創(chuàng)新新全塑型氣瓶固定板和氣瓶固定架非常地解決氣瓶存放和氣瓶固定問題，提高安全性和避免氣瓶擺放的雜亂無章，符合美國職業(yè)健康管理局標(biāo)準(zhǔn)OSHA 29 CFR.1910的規(guī)定，氣瓶安全大大提高。ENPAC的氣瓶固定板和氣瓶固定架的全塑結(jié)構(gòu)，不會(huì)像鋼制產(chǎn)品那樣笨重、發(fā)生生銹和掉屑，特別適合無塵室、潔凈室、手術(shù)室、電子室等對(duì)潔凈要求高的場(chǎng)合。

高純氣體管道的安裝與施工！

高純度、高潔凈氣體管道的施工不同于一般工業(yè)管道，稍有疏忽便可能破壞氣體的質(zhì)量。因此，要理解安裝氣體質(zhì)量的重大意義，要求嚴(yán)格遵守設(shè)計(jì)和施工要求，工作嚴(yán)肅認(rèn)真、一絲不茍，要高度重視各個(gè)細(xì)小環(huán)節(jié)，建成符合要求的管路系統(tǒng)。高純氣體要求做到以下幾個(gè)方面:

1、外觀的檢查工作

(1)管道系統(tǒng)的管材、閥門及所有附件，嚴(yán)格設(shè)計(jì)要求選用，不得隨意更改或代換。

(2)所有管材應(yīng)放在室內(nèi)精心保管，不得露天堆放、日曬和雨淋。

(3)管段端頭要用塑料或橡膠密封罩加以密封，不得脫落、。

2、配管的準(zhǔn)備工作

(1)無論多大壓力、何種介質(zhì)及何種用途的配管，下料時(shí)均不得采用氧、乙炔焰切割。無論是機(jī)械或手工下料，分段處不得涂抹油脂或使用潤滑劑。

(2)高純氣體指出，管子切口應(yīng)當(dāng)與管軸線嚴(yán)格垂直，切口表面平整，不得有裂紋、毛刺。

(3)各種閥門應(yīng)在安裝前清洗，清洗前先應(yīng)研磨、試壓合格，然后拆成零部件，并在三或溶劑中浸泡1~1.5h。

3、金屬管道的連接

(1)管道材質(zhì)：用于輸送高純氣體的金屬管道材質(zhì)主要有:低碳不銹鋼、銅管等。

(2)連接方式:焊接、螺紋連接、法蘭連接等。

二、有毒氣體,半導(dǎo)體氣體很多是對(duì)人體有害有毒,如PH3、ASH3、B2H6、CLF3、SIH2CL2、SIHCL3等；

三、助燃?xì)怏w,這些高純氣體自身不能燃燒,但若與可燃物、可燃?xì)怏w接觸,將幫助燃燒,應(yīng)在儲(chǔ)運(yùn)使用中們加注意,如o2n2of2hf等窒息性氣體；

四、還有氣體性質(zhì)穩(wěn)定,也無毒性,但當(dāng)它們排放在不通風(fēng)的場(chǎng)所時(shí),空氣中氧含量降到18%以下時(shí),因缺氧會(huì)使人呼吸困難，若不能及時(shí)解救也會(huì)有危險(xiǎn)甚至，這類氣體有氮?dú)?、氬氣二氧化碳、氦氣等?

五、腐蝕性氣體，通常遇水就顯示其腐蝕性，如hcl、pocl3、hf等。許多氣體同時(shí)兼有多種性質(zhì)，在這些氣體輸送、儲(chǔ)運(yùn)、使用中應(yīng)予重視。

半導(dǎo)體生產(chǎn)用高純氣體不僅種類多，而且更重要的是對(duì)氣體品質(zhì)在很嚴(yán)格的要求。