施工方案1、確定整體設(shè)計(jì)方案；2、對(duì)現(xiàn)場(chǎng)細(xì)部考察，了解客戶對(duì)材料品牌或其他方面的特殊要求；3、深化圖紙：包括設(shè)計(jì)說(shuō)明、文字方案、工程預(yù)算、平面圖、立面圖、部面圖、色彩效果圖、關(guān)鍵部位大樣圖、給排水、電氣、暖通等體與細(xì)節(jié)等達(dá)到按圖施工的標(biāo)準(zhǔn)；4、確定方案后，輸出全套施工圖紙。進(jìn)行潔凈廠房的平面布置、空間布置，此時(shí)必須首先安排好產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)與個(gè)產(chǎn)輔助區(qū)t動(dòng)力公用設(shè)施區(qū)的合理布局，通常是順應(yīng)產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝硫程，在確保產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境要求的倩況下做到有利于產(chǎn)品生產(chǎn)的操作、管理，有利于節(jié)約能源、降低生產(chǎn)成本。項(xiàng)目實(shí)施1、施工方案確認(rèn)交底，組建項(xiàng)目部，進(jìn)行施工前人、財(cái)、物的各項(xiàng)準(zhǔn)備工作；2、嚴(yán)格根據(jù)施工工藝、施工進(jìn)度計(jì)劃施工，確保施工質(zhì)量及進(jìn)度，隱蔽工程要監(jiān)理方驗(yàn)收合格后，進(jìn)入下一道工序施工。3、加強(qiáng)客戶溝通，對(duì)項(xiàng)目變及時(shí)調(diào)整；4、及時(shí)上報(bào)竣工資料，做好工程交接工作。

潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。潔凈室凈化工程凈化工程的施工特點(diǎn)：潔凈室凈化工程設(shè)計(jì)首先要了解所設(shè)計(jì)的潔凈室凈化工程的用途、使用情況、生產(chǎn)工藝特點(diǎn)等、比如設(shè)計(jì)的是集成電路生產(chǎn)用潔凈室凈化工程．首先要弄清楚產(chǎn)品的特性——集成度、持形尺寸和生產(chǎn)工藝特點(diǎn)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。

A.空氣處理效果較好的，處理過(guò)后的空氣在送風(fēng)過(guò)程中被污染程度低。4．進(jìn)入凈化區(qū)前施工用機(jī)具、工具、材料及附件等必須在室外清潔并擦拭干凈，不得有油、銹及灰塵等，并且只能從規(guī)定的出入口進(jìn)出。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達(dá)到較好的控制。主要在空氣處理機(jī)組(增壓風(fēng)柜)里進(jìn)行控制;B.布置靈活。自帶冷源;C.大小廠房、新舊廠房都適用;D.維修頻率較低;E.車間噪音低。缺點(diǎn)：A.需要小面積的機(jī)房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;B.空調(diào)機(jī)組與空調(diào)處理機(jī)組要集中布置;