復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評價標(biāo)準(zhǔn)即各頻帶中心頻率的聲壓級不得超過該曲線。

對于以微生物為控制對象的生物潔凈室（例如：生物制藥、潔凈手術(shù)室、無菌室、生物安全實驗室、實驗無菌動物飼養(yǎng)室等）其重點要控制微生物的產(chǎn)生和傳播，因為潮濕和水分是微生物滋生和繁殖的條件，因此水加濕的淋水、濕膜、高壓噴霧等方法不能用在生物潔凈室中，只能采用干蒸汽加濕和電極（電熱）式加濕。近幾年來，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目，而我公司的設(shè)計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)地位。福州同盛凈化彩鋼板有限公司

為確保潔凈室凈化工程內(nèi)所必須的空氣潔凈度，潔凈室凈化工程設(shè)計中涉及到的各個專業(yè)設(shè)計均應(yīng)采取妥善的、可靠的技術(shù)措施，以減少或防止室內(nèi)產(chǎn)塵、滋生微生物，減少或阻止將微粒微生物或可能會造成交叉污染的物料帶人潔凈室凈化工程內(nèi)，有效地將室內(nèi)的微粒微生物排出，以減少或防止它們滯留潔凈室凈化工程內(nèi)。對于因塵粒脆生物或物料的交叉污染會危害產(chǎn)品雨量或人身安全時．還應(yīng)采取安全、可靠的技術(shù)措施防讓交叉污染，如嚴(yán)格控制不同用選的潔凈室凈化工程之間的靜壓差，按要求合理地劃分凈化空調(diào)系統(tǒng)以及回風(fēng)系統(tǒng)的妥善設(shè)計等。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時相當(dāng)長一段時間。