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無塵室內該如何防止微粒子污染呢?應遵守下列基本原則:排除/除去,在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中,為了不讓無塵室內產(chǎn)生微粒子,因此直接做對外排氣的動作,即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下:由于導入同量的外氣是必要的,但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是肯定理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時,不僅僅是向無塵室外排氣,而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。
實驗室潔凈度及壓力梯度:主實驗室:面積為150m2,凈空高度為2.7m,規(guī)劃溫度(空調操控),規(guī)劃濕度(能夠思考添加抽濕機),潔凈等級為三十萬級—十萬級,換氣次數(shù)25次/小時,相對壓力為 10Pa,規(guī)劃送風量900m3/h,過濾器送風口的風量為1000 m3/h。緩沖室:面積為2.9m2,凈空高度為2.7m,潔凈等級為十萬級,換氣次數(shù)15次/小時,相對壓力為 5Pa,規(guī)劃送風量110m3/h,過濾器送風口的風量為500 m3/h。