相對(duì)濕度在35%-40%之間能夠作為一個(gè)令人滿意的折中,半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都運(yùn)用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度,包含腐蝕的進(jìn)程,將跟著相對(duì)濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時(shí),高濕度能夠使反響加速。幸運(yùn)的是,一些金屬,例如鋁,能夠與水構(gòu)成一層維護(hù)形的氧化物,并阻止進(jìn)一步的氧化反響;但另一種情況是,例如氧化銅,是不具有維護(hù)才能的,因而,在高濕度的環(huán)境中,銅制外表更容易遭到腐蝕。
在凈化車間中空氣凈化系統(tǒng)中,潔凈空氣都需要靠風(fēng)管輸送,風(fēng)管的性能會(huì)影響到空氣潔凈度,風(fēng)管首先要注意密閉性,使用中不積累灰塵、不產(chǎn)生灰塵、耐潮濕、耐腐蝕、不會(huì)污染等性能,在風(fēng)管的設(shè)計(jì)中也需要考慮阻力的問題,避免阻力過大,需要增加送風(fēng)的壓力,增加能源的消耗。工作人員的走動(dòng)影響室內(nèi)的空氣潔凈度,避免工作人員減少不必要的走動(dòng),需要在車間內(nèi)的電話,電話可以減少工作人員來回走動(dòng),影響室內(nèi)的環(huán)境,凈化車間的安全性非常重要,尤其是需要注意防火問題,在車間內(nèi)設(shè)置火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)和自動(dòng)水淋系統(tǒng),還需要配備消防設(shè)備,這樣才能保證車間的安全性。

溫度測(cè)試是確認(rèn)空氣處理設(shè)施的溫度控制能力,溫度測(cè)試應(yīng)在凈化車間進(jìn)行調(diào)試,氣流均勻性測(cè)試完成,并在凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運(yùn)行24H以上后進(jìn)行。凈化車間的溫度測(cè)試有功能溫度測(cè)試和一般溫度測(cè)試。功能溫度測(cè)試主要用于需嚴(yán)格控制溫度精度時(shí)或建設(shè)方要求在“靜態(tài)”或“動(dòng)態(tài)”進(jìn)行測(cè)試時(shí)應(yīng)用;一般溫度測(cè)試主要使用于“空態(tài)”時(shí)溫度測(cè)試。

實(shí)驗(yàn)室里面的儀器設(shè)備該如何去除灰塵?清洗儀器上的塵垢,清洗儀器在使用中會(huì)沾上油膩、膠液、汗?jié)n等塵垢,在儲(chǔ)藏保管不小心時(shí)會(huì)發(fā)生銹蝕、霉斑,這些塵垢對(duì)儀器的壽數(shù)、性能會(huì)發(fā)生極其不良的影響。清洗的意圖就在于除掉儀器上的塵垢。一般儀器的清洗有兩類辦法,一是機(jī)械清洗辦法,即用鏟、刮、刷等辦法清洗;二是化學(xué)清洗辦法,即用各種化學(xué)去污溶劑清洗。詳細(xì)的清洗辦法要依塵垢附著外表的情況以及塵垢的性質(zhì)決議。