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佛山市錦城鍍膜有限公司以耐高溫車輛燈具注塑 鍍膜為主的專業(yè)生產(chǎn)廠家,公司秉承“以質(zhì)取勝,求真務(wù)實(shí),顧客至上”理念,歡迎廣大客戶光臨了解,我們將為你的產(chǎn)品錦上添花.
真空鍍膜之多弧離子鍍 :
電弧電流一般為幾安至幾百安,工作電壓為10-25V,這時(shí)陰極表面的全部電流集中在一個(gè)或多個(gè)很小的部位 , 形成明亮的陰極弧斑 , 陰極弧斑的直徑為0.01-100um, 并以高達(dá)100m/s的速度在陰極靶表面隨機(jī)運(yùn)動(dòng) , 也可以利用磁場(chǎng)控制陰極弧斑的運(yùn)動(dòng)。在陰極弧斑的前方是高密度的金屬等離子體, 由于電子向陽極快速移動(dòng)而使陰極斑點(diǎn)前方出現(xiàn)離子堆積即形成正空間電荷 , 從而在陰極附近形成極強(qiáng)的電場(chǎng), 導(dǎo)致場(chǎng)電子發(fā)射以維持弧光放電。濺射的工件為陽極,靶為陰極,利用原子的濺射作用把靶材原子擊出而沉積在工件表面上,沉積原子的能量由被濺射原子的能量分布決定。
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鍍膜工藝流程中工藝參數(shù)的控制和對(duì)膜層沉積的影響:
金屬過渡層:過渡層能有效的減小膜-基或不同鍍層間因材料熱膨脹系數(shù)等物理性能不同而形成的應(yīng)力,提高結(jié)合力,但是金屬過渡層太厚容易引起基體軟化,結(jié)合力反而會(huì)變差。
鍍膜工藝流程中工藝參數(shù)的控制和對(duì)膜層沉積的影響
靶基距:靶基距是影響成膜速率的重要因素之一,隨著靶基距增加,被濺射材料射向基片時(shí)與氣體分子碰撞的次數(shù)增多,同時(shí)等離子體密度也減弱,動(dòng)能減少,沉積速率降低,但膜層外觀較好。靶基距太小,沉積太快,工件溫升大,膜層外觀差。
靶功率;磁控濺射本身粒子初始動(dòng)能比較小,離化率低,電源功率越大,濺射出的粒子的初始能量越大,靶材濺射量也越大,沉積速率越快,膜層容易上厚度和硬度,同時(shí)工件溫升也大,過高的功率會(huì)使沉積速率太快,粒子來不及表面遷移和擴(kuò)散,易形成陰影效應(yīng),膜層會(huì)比較疏松,應(yīng)力較大。普通真空鍍膜時(shí),蒸發(fā)料粒子大約只以一個(gè)電子伏特的能量向工件表面蒸鍍,在工件表面與鍍層之間,形成的界面擴(kuò)散深度通常僅為幾百個(gè)埃(10000埃=1微米=0。
真空鍍膜的形式:蒸發(fā)鍍膜
工藝原理:
4)沉積原子之間產(chǎn)生兩維碰撞,形成簇團(tuán),有的在表面停留一段時(shí)間后再蒸發(fā);
5)原子簇團(tuán)與擴(kuò)散原子相碰撞,或吸附單原子,或放出單原子,這種過程反復(fù)進(jìn)行;
6)當(dāng)原子數(shù)超過某一臨界值時(shí)就變?yōu)榉€(wěn)定核,再不斷吸附其他擴(kuò)散原子而逐步長(zhǎng)大,后與鄰近穩(wěn)定核合并進(jìn)而變成連續(xù)膜。