超精密研磨技術(shù)是超精密加工技術(shù)的一種。超精密加工技術(shù)指的是超過(guò)或達(dá)到本時(shí)代精度界限的高精度加工。超精密加工其實(shí)是個(gè)相對(duì)概念,而且隨著工藝技術(shù)水平的普提高,不同年代有著不同的劃分界限,但并嚴(yán)格統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)。從現(xiàn)在機(jī)械加工的工藝水平來(lái)看,通常把加工誤差小于0.01um、表面粗糙度Ra小于0.025um的加工稱(chēng)為超精密加工。

我們所說(shuō)的超隨密加工技術(shù),除了超精密研磨技術(shù)外,還括超精密磨削,微細(xì)加工,光整加工和精整加工等,這幾種超精密加工方法能加工出精密加工所無(wú)法達(dá)到的尺寸精度,形狀精度及表糙度。但是,超精密切削,超精密磨削等的實(shí)現(xiàn)在很大程度上依于加工設(shè)備加工工具,同時(shí)還受加工原理及環(huán)境因素的響和限制,所以,現(xiàn)在如果想從這些方面高加工精度,那是十分困難的,而超精密研技術(shù)由于具有加工原理,可以實(shí)現(xiàn)納米甚至原子級(jí)的加工,已成為超精密加工技術(shù)中的一個(gè)重要部分,所以,超密研磨技術(shù)如今備受關(guān)注，研磨是歷史您久的傳統(tǒng)工藝,古代石器,玉器及銅鏡就是經(jīng)過(guò)研磨制造出來(lái)的,至今研磨一直是精密的加工,多年來(lái)其發(fā)展是微慢的,到上紀(jì)五十年代,飛速發(fā)展的電子工業(yè)為古老的研磨技術(shù)帶來(lái)了新的曙光，超精密研磨技術(shù),一般指選用粒徑只有幾納米的研磨微粉作為研磨磨料,將其注入研具,用以去除微量的工件材料,以達(dá)到一定的幾何精度，一般誤差在0.1μm以下及表面粗糙度(一般Ra≤0.01μm)的方法。其技術(shù)目標(biāo)主要有兩類(lèi),一是為追求降低表面糙度或提高尺寸精度為目標(biāo),二是為實(shí)現(xiàn)功能材料元件的功能為目標(biāo),要求解決與高精度相匹配的表面粗糙度和的變質(zhì)層問(wèn)題,另外,對(duì)于單材的加工,同時(shí)還要求平面度厚度和品相的定向精度等,對(duì)于電子材料的加工,除了要求高形狀精度外,還必須達(dá)到物理或結(jié)晶學(xué)的無(wú)損傷理想鏡面。

超精密研磨工藝還有退掉鍍膜的功效，我們只要通過(guò)特定的研磨劑,在短的時(shí)間（30～180s）內(nèi)就可以完全脫掉鍍膜。這樣大大節(jié)省脫膜時(shí)間。對(duì)于那些表面真空鍍氮化碳或氮化鉻的產(chǎn)品,脫膜相對(duì)較難,通過(guò)超精密研磨也能去完全將表面膜層去除干凈,但是研磨時(shí)間需要延長(zhǎng)一倍以上。雖說(shuō)研磨時(shí)間相對(duì)增加，但任然不會(huì)傷到基材表面，相反會(huì)大大增加返鍍的良率（因?yàn)槌苎心ツ芎芎锰岣弑砻娴墓鉂啥?，降低表面粗糙度，使表面平滑，光潔，?dǎo)電性能好）。

綜上所述，超精密研磨的確是真空鍍膜或真空鍍膜前處理不可缺少的工藝，并且他也將以對(duì)人體無(wú)傷害，對(duì)環(huán)境無(wú)污染，成本低的優(yōu)勢(shì)壓倒電解工藝，同時(shí)也為真空鍍膜或真空鍍膜解除更多的不良因素，為真空鍍膜或真空鍍膜出的產(chǎn)品而多做貢