真空磁控陰極濺射法：平板玻璃在具有高真空的真空腔體內(nèi)，處在負(fù)電壓的兩極間的工作氣體正離子在正交電磁場(chǎng)的作用下飛向陰極，在很短的陰極位降區(qū)內(nèi)獲得很大的能量去迅速轟擊靶材，從而使陰極(靶材)原子飛向玻璃基片--玻璃沉積膜層，濺射出的二次電子(此過(guò)程稱γ過(guò)程)在電磁場(chǎng)作用下按旋輪線運(yùn)動(dòng)參與碰撞電離，蟹衍載流子，這樣就能源源不斷地轟擊陰極，提供足夠數(shù)量的正離子，形成的等離子區(qū)使持續(xù)輝光放電，其可以一次完成多層鍍膜，有著的膜層均勻性，的邊緣復(fù)蓋和良好的附著力。鍍膜有著優(yōu)于和區(qū)別于其它真空磁控濺射鍍膜機(jī)的地方是：它的平面磁控靶上的磁場(chǎng)是由環(huán)形磁鐵產(chǎn)生的，可將半園環(huán)形磁鐵看成是無(wú)限T微扇柱狀磁鐵的組合 。所以，其相應(yīng)點(diǎn)磁標(biāo)勢(shì)較穩(wěn)定，才能生產(chǎn)出均勻牢固的鍍膜層。涂敷防止彈性體元件中副產(chǎn)品溶出并保護(hù)產(chǎn)品表面不受和無(wú)機(jī)試劑、酸和溶液的影響。

真空鍍中對(duì)底涂層的要求：

①對(duì)鍍件與鍍膜層有良好的接觸性能與較高的結(jié)合力，熱膨脹系數(shù)相差小，不起反應(yīng)，流平性能好。

②具有良好的真空性能。底涂層固化后放氣量少、熱應(yīng)力小、耐熱性能好。

③成膜性能好，涂層的致密度、覆蓋能力、抗溶劑能力與耐光照能力等性能良好。

④與面涂層有良好的相溶性。由于鍍膜層極薄有孔隙，要求底涂層和面涂層的溶劑和稀釋劑有良好的相溶性。

⑤施涂性能良好。流平性能良好，有適當(dāng)?shù)酿ざ?、固化時(shí)間短。

在光學(xué)鍍膜材料的應(yīng)用上，鍍膜靶材是核心技術(shù)，通過(guò)不同靶材中含有的稀有金屬不同而形成不同的光學(xué)鍍膜材料，普遍應(yīng)用的稀有金屬有氟化釔、氟化鐠、鍺、硫化鋅、氟化鎂、二氧化鈦、氧化鋯、鈷、、硒等金屬。在反射鏡的光學(xué)材料中普遍用到銅、鉬、硅、鍺等金屬，在輸出端和透射光學(xué)原件中鍺、、硒化鋅等應(yīng)用廣泛。在光學(xué)鍍膜材料的應(yīng)用上，鍍膜靶材是核心技術(shù)，通過(guò)不同靶材中含有的稀有金屬不同而形成不同的光學(xué)鍍膜材料，普遍應(yīng)用的稀有金屬有氟化釔、氟化鐠、鍺、硫化鋅、氟化鎂、二氧化鈦、氧化鋯、鈷、、硒等金屬。

隨著鍍膜技術(shù)的不斷推廣，光學(xué)鍍膜技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域也在不斷拓寬，這些具有優(yōu)異物理特性的金屬將隨著我們生活水平的提高為我們的生活帶來(lái)更多的精彩。

? 微電子、半導(dǎo)體：使用高純的Parylene作鈍化層和介質(zhì)層，能提供安全、穩(wěn)定的防護(hù)。

?傳感器和換能器：自動(dòng)化控制和惡劣環(huán)境下使用的傳感器、換能器， Parylene涂層防護(hù)可以提高環(huán)境適應(yīng)性和可靠性，涂層無(wú)，且具有防潮功能。各種傳感器傳感部件及彎曲管。適用于各種惡劣環(huán)境。 

?Parylene適用于微機(jī)電(MEMS)、半導(dǎo)體領(lǐng)域之優(yōu)點(diǎn)

*能進(jìn)行微米級(jí)微細(xì)制作和加工；

*與其它微細(xì)結(jié)構(gòu)材料有很好的相容性；

* 在微細(xì)結(jié)構(gòu)中仍具有優(yōu)良的電性能和物理機(jī)械性能；

*對(duì)微電子機(jī)械系統(tǒng)的使用環(huán)境有很好的相容性和防護(hù)性