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運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。優(yōu)點:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當(dāng)長一段時間。并裝局部潔凈室(CleanSpot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用。
A.空氣處理效果較好的,處理過后的空氣在送風(fēng)過程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達到較好的控制。主要在空氣處理機組(增壓風(fēng)柜)里進行控制;B.布置靈活。自帶冷源;C.大小廠房、新舊廠房都適用;D.維修頻率較低;E.車間噪音低。缺點:A.需要小面積的機房。3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之分體空調(diào)柜機 FFU送風(fēng)口這是最簡易的一個空調(diào)方案。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;B.空調(diào)機組與空調(diào)處理機組要集中布置;
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,工業(yè)產(chǎn)品的更新?lián)Q代很快,人們對生活質(zhì)量要求也越來越高,工業(yè)潔凈室凈化工程、生物潔凈室凈化工程的建造日新月異,因此潔凈室凈化工程設(shè)計本身便具有高新技術(shù)、技術(shù)密集和資金密集的特點,為了提高潔凈室凈化工程建成后的技術(shù)經(jīng)濟效益,在進行潔凈室凈化工程設(shè)計時應(yīng)設(shè)法盡可能地考慮一定的靈活性,以便使建成后的潔凈室凈化工程能隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展*可以方便地進行技術(shù)改造??刂飘a(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。
凈化區(qū)內(nèi)搬運物料及機具搬運應(yīng)輕拿輕放,防止碰撞壁板或頂板。工具或材料搬運時必須完全離開地面,不得在地面上拖行。管道等長度≥1.5米的材料必須由兩人進行搬運,一人拿一端,不得一人獨自搬運;凈化區(qū)使用的腳手架必須清掃干凈、踏板必須用保鮮膜包裹好,每個腳手架上必須配備一套清掃工具。所有設(shè)備(包括腳手架、推車等)車輪必須是橡膠輪子,而且輪子必須用透明膠帶纏緊;之間的摩擦,工藝上的研磨,噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作,所有選些都可能產(chǎn)生靜電,在一般情況下,越是電導(dǎo)率小的非導(dǎo)體(絕緣體),由于電荷產(chǎn)生后不易流動,因此表現(xiàn)為越容易帶電。不得在凈化室進行任何電焊、鉆孔、切割、打磨等加工作業(yè),不得已時需向業(yè)主申請并做好防護措施
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