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質量流量計簡介
質量流量:
以單位時間內流過某截面的流體質量表示的流量。氣體質量流量一般將其換算成標準狀態(tài)下的 體積/分鐘 來表示。例如:毫升/分鐘即 mL/min (SCCM行業(yè)標準), 升/分鐘即 L/min (SLM行業(yè)標準). 標準狀態(tài)為:氣體溫度—— 273.15K (0℃); 氣壓——101325Pa(1atm)
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質量流量計的原理
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目前,國內使用較為廣泛的是熱式氣體質量流量計。
其原理如下:“在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器,并將其控制在同一溫度。當流體流動時,氣體將上游的部分熱量帶給下游,而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時,利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質量流量成比例的原理,來測定流量。”(附:qm=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測量管繞組(即加熱系統(tǒng))與周圍環(huán)境熱交換系統(tǒng)之間的熱傳導系數(shù); K -------儀表常數(shù))
質量流量計的測量原理
質量流量計是采用感熱式測量,通過分體分子帶走的分子質量多少從而來測量流量,因為是用感熱式測量,所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果 。質量流量計是一個較為準確、快速、可靠、、穩(wěn)定、靈活的流量測量儀表,在石油加工、化工等領域將得到更加廣泛的應用,相信將在推動流量測量上顯示出巨大的潛力。質量流量計是不能控制流量的,它只能檢測液體或者氣體的質量流量,通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是,質量流量控制器,是可以檢測同時又可以進行控制的儀表。質量流量控制器本身除了測量部分,還帶有一個電磁調節(jié)閥或者壓電閥,這樣質量流量控制本身構成一個閉環(huán)系統(tǒng),用于控制流體的質量流量。質量流量控制器的設定值可以通過模擬電壓、模擬電流,或者計算機、PLC提供。
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