質(zhì)量流量計簡介

質(zhì)量流量：

以單位時間內(nèi)流過某截面的流體質(zhì)量表示的流量。氣體質(zhì)量流量一般將其換算成標準狀態(tài)下的 體積/分鐘 來表示。例如：毫升/分鐘即 mL/min （SCCM行業(yè)標準）, 升/分鐘即 L/min （SLM行業(yè)標準）. 標準狀態(tài)為：氣體溫度—— 273.15K (0℃)； 氣壓——101325Pa(1atm)

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質(zhì)量流量計的用途

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1. 鍋爐、裂解爐用燃料氣質(zhì)量流量測量控制；

2. 石油化工、采油、火炬氣質(zhì)量流量測量；

3. 燃燒爐用空氣質(zhì)量流量測量控制;燃汽輪機氫氣質(zhì)量流量和控制；

4. 食品加工及飲料氣體質(zhì)量流量和控制；

5. 水廠氣質(zhì)量流量控制；

6. 生產(chǎn)半導(dǎo)體時高純度氣體質(zhì)量流量測量；

7. 催化劑、化學(xué)添加劑質(zhì)量流量測量；

8. 泵的保護控制、泵密封、潤滑油池泄漏檢測；

9. 空調(diào)系統(tǒng)控制；

10. 儀表用空氣、工藝空氣、氮氣等質(zhì)量流量測量。

11. 氣體分析儀，大氣采樣器

12. 泄露監(jiān)測

13. 氣體分配系統(tǒng)

14. 實驗室氣體測量

15. 醫(yī)學(xué)應(yīng)用

16. 燃料電池

17. 應(yīng)用氣體：Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10, 等絕大多數(shù)氣體。

質(zhì)量流量控制器的常見問題

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實際使用中發(fā)現(xiàn)，當輸入的氣體不同時控制顯示的數(shù)值與實際不符，其實原因很簡單，因為在MFC行業(yè)中，有一種參數(shù)叫CF，即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（下面簡稱CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮氣）定義為標準氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮氣為中心，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡單的分析其比率，用各自的CF值計算即可。

假設(shè)某臺MFC是用N2標定的，但是實際流過的氣體是He，實際的流量比N2多。各個廠家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡單的說就是He氣相同示數(shù)時，是N2的1.4倍流量。反過來，如果N2流過He的MFC，實際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。

因此控制器發(fā)現(xiàn)流量不準時，考慮出廠標定CF是否與你的氣源相同。