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電子制造業(yè)潔凈室的特點(diǎn)
潔凈度等級要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范受控,另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴(yán)格。其中對濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來說,電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。
這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
在電子行業(yè)潔凈廠房的施工過程中,中建南方以遵循先外后里,先主后次的原則。如果施工計劃不合理,施工順序混亂,會嚴(yán)重影響施工質(zhì)量,為今后電子產(chǎn)品的生產(chǎn)帶來不便與不良影響。因此,電子行業(yè)潔凈廠房的施工首先要制定合理的施工計劃,考慮各個施工環(huán)節(jié)之間的相互關(guān)系和相互影響,確保施工過程合理有序;其次,在施工過程中,要注意對以完成的施工項目進(jìn)行保護(hù);同時,在施工過程中要注意潔凈,盡可能的避免產(chǎn)生大量粉塵,保證室內(nèi)環(huán)境的清潔。
1-100 級的電子廠凈化車間,均采用單向流的氣流組織送風(fēng)方式,即電子廠電子廠凈化車間內(nèi)的氣流在同一截面的任意一點(diǎn),氣流的方向和速度均保持一致,這樣可以使清潔空氣象“活塞”一樣,將室內(nèi)的塵埃粒子以快的速度帶走。
1000-10 萬級電子廠凈化車間的氣流組織方向和 100 級以上的電子廠電子廠凈化車間不同,室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動的,伴有回流或渦流,它主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來實(shí)現(xiàn)凈化。不同的凈化等級,主要是依靠單位時間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來實(shí)現(xiàn)的。