對于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調(diào)到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對氦罩沖氦。為了避免事故的發(fā)生，化工廠商在投建廠房時就應(yīng)該對化學(xué)管道和設(shè)備做氣密檢漏并且后期生產(chǎn)中也需要定期檢漏。檢漏儀在管道檢測方面有兩種檢測方法，負(fù)壓法和正壓法，一般化工管道采用的是負(fù)壓法。負(fù)壓法就是常說的抽真空，這是檢漏儀常用的檢漏方法。

可先用氮氣或其它惰性氣體將設(shè)備壓力提高，然后用純氦氣或氦氣混合氣把測試設(shè)備的內(nèi)壓增加至測試壓力且應(yīng)使設(shè)備內(nèi)部至少含有10%-20%的氦氣含量。檢漏儀的檢漏率應(yīng)高于設(shè)備所允許漏率1-2個數(shù)量級。首先將設(shè)備穩(wěn)固的置于明亮、透風(fēng)良好的場所，連接好檢漏用管路及壓力表，應(yīng)將壓力表安裝在測漏容器的頂部便于觀察的位置。檢漏設(shè)備檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。

用于電廠檢漏的檢漏儀。關(guān)鍵部件均為進口，性能。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。檢漏儀對示漏氣體的要求：在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測的準(zhǔn)確性。

據(jù)日本有關(guān)文章介紹，日本汽車制造業(yè)，已有30多種零部件在使用檢漏儀檢漏，解決密封問題。其中包括液壓系統(tǒng)、制動系統(tǒng)、轉(zhuǎn)向系統(tǒng)、避震系統(tǒng)、汽車輪轂。檢漏儀高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s