主要配置：檢漏儀分子泵。機械泵或者干泵。定制檢漏儀電磁閥。內(nèi)置標準漏口。放大器。質(zhì)譜模塊。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。檢漏儀主要技術(shù)指標：小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s

檢漏儀是用示蹤氣體氦氣的專門用于檢漏的儀器，它性能穩(wěn)定，靈敏度高，是真空檢漏技術(shù)中較成熟的設(shè)備，使用比較普遍的檢漏儀。為工廠作業(yè)人員的安全以及環(huán)境保護，檢漏儀成為化工管道檢漏的的選擇。檢漏設(shè)備因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應(yīng)依照由下而上，由近而遠的順序進行。于氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的，所以焊縫表面若存有油污、焊渣以及設(shè)備內(nèi)部的積水、污垢等都會使泄漏孔暫時阻塞而影響檢測結(jié)果，因此，測試前必須設(shè)備內(nèi)部清理干凈及焊縫表面并用熱風裝置將設(shè)備內(nèi)部干燥。

對于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調(diào)到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對氦罩沖氦。使用氦氣噴在管道密封接頭，焊縫處噴氦，如果被檢管道某處有泄漏，當氦噴到漏孔上時，氦氣會立刻被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴散到質(zhì)譜室內(nèi)，檢漏儀感應(yīng)到氦就會立刻有響應(yīng)。從而達到了檢漏的結(jié)果。檢漏設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結(jié)果的真實性。