全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。檢漏儀從以往的單方面領(lǐng)域的應(yīng)用到現(xiàn)在多領(lǐng)域的應(yīng)用，如：航空航天高科技工業(yè)、電力行業(yè)、電子行業(yè)、真空儀器儀表行業(yè)、核工業(yè)、制冷行業(yè)、不銹鋼保溫器皿等。其實檢漏儀的領(lǐng)域應(yīng)用廣發(fā)也是代表科技的一大進(jìn)步，常見的檢漏儀檢測儀方法有漏點(diǎn)型、漏率型兩種。

于氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的，所以焊縫表面若存有油污、焊渣以及設(shè)備內(nèi)部的積水、污垢等都會使泄漏孔暫時阻塞而影響檢測結(jié)果，因此，測試前必須設(shè)備內(nèi)部清理干凈及焊縫表面并用熱風(fēng)裝置將設(shè)備內(nèi)部干燥。吸與質(zhì)譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。檢漏儀應(yīng)在校驗后使用并在檢漏期間每1-2小時校驗。檢漏儀的檢漏率應(yīng)高于設(shè)備所允許漏率1-2個數(shù)量級。

檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇：無害，不能對人體或環(huán)境造成傷害;質(zhì)量輕，惰性氣體，穿透能力強(qiáng)，能穿透微小細(xì)縫;化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會引起化學(xué)反應(yīng);檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s

檢漏儀設(shè)備內(nèi)芯制造借鑒國外技術(shù)，具有靈敏度高，反應(yīng)快，開機(jī)時間短等特點(diǎn)，是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動檢漏儀。檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率，簡便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。