檢漏儀用于對(duì)容器或器件的密封性進(jìn)行檢測(cè)，對(duì)被檢件泄漏點(diǎn)進(jìn)行定性、定量和定位的檢測(cè)。儀器利用內(nèi)置的真空系統(tǒng)，將被檢氣體抽入到儀器內(nèi)部，然后將該混合氣體離化，并將離子加速送入磁場(chǎng)當(dāng)中，利用帶電離子在磁場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn)效應(yīng)，使氦離子與其它離子分離，通過(guò)對(duì)此氦離子信號(hào)的接收、放大和顯示，從而反映出被測(cè)器件的密封性。

通過(guò)外部檢漏通常都會(huì)解決，但在多遍檢漏后問(wèn)題若是仍然存在，我們就應(yīng)該考慮是否存在內(nèi)部漏點(diǎn)。筆者發(fā)現(xiàn)，內(nèi)漏大多來(lái)源于各種充氣閥。若要驗(yàn)證，可以在閥門保持關(guān)閉的狀態(tài)下，將閥門的保護(hù)氣體一端法蘭打開--縫隙，充入氦氣檢查是否漏氣，若不漏氣，再將閥門連接好后立即充入保護(hù)氣體到管路中，如果這時(shí)檢漏儀漏率值上升，那么就可以確定充氣閥泄漏是真空指標(biāo)不合格的原因。

氦氣檢漏儀可對(duì)使用過(guò)程中產(chǎn)生的濃度不合格氦氣進(jìn)行提純，極大降低氦氣損耗（功能可選）；檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。檢漏儀不會(huì)受到主觀因素判斷的影響；檢測(cè)的數(shù)據(jù)；自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來(lái)源。

對(duì)于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調(diào)到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對(duì)氦罩沖氦。使用氦氣噴在管道密封接頭，焊縫處噴氦，如果被檢管道某處有泄漏，當(dāng)氦噴到漏孔上時(shí)，氦氣會(huì)立刻被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴(kuò)散到質(zhì)譜室內(nèi)，檢漏儀感應(yīng)到氦就會(huì)立刻有響應(yīng)。從而達(dá)到了檢漏的結(jié)果。檢漏設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進(jìn)行本測(cè)試，測(cè)試完成后不得進(jìn)行焊縫的修磨等。若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會(huì)影響毛細(xì)管的泄漏而影響測(cè)試結(jié)果的真實(shí)性。