什么是電子氣體

電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料，它們廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。例如在目前工藝技術(shù)較為先進(jìn)的超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過道，其中大約要使用種不同種類的電子氣體。

電子氣體輸送系統(tǒng)是指為滿足工藝制程的需求，在充分保證工藝和產(chǎn)品安全使用的前提下，將電子氣體從氣源端無二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數(shù)、穩(wěn)定地輸送到工藝生產(chǎn)設(shè)備的用氣點(diǎn)。根據(jù)氣體性質(zhì)和供應(yīng)包裝的不同。

工業(yè)氣體的危險(xiǎn)性：

燃燒性，可燃?xì)怏w在燃燒時(shí)一旦泄漏燃爆，后果是相當(dāng)嚴(yán)重的。液化氣體的特點(diǎn)是沸點(diǎn)低，極易氣化，因而突然泄壓時(shí)造成的閃蒸（即瞬間的迅速氣化）是一般氣體所沒有的特殊現(xiàn)象。一般情況下，閃蒸量約為泄漏量的20%—30%，已蒸發(fā)氣體自然地向大氣擴(kuò)散。這種閃蒸現(xiàn)象對于可燃的液化氣體來說特別危險(xiǎn)，因?yàn)檠杆僬舭l(fā)使氣體來不及擴(kuò)散而滯留在一定的空間范圍與空氣混合形成了燃爆性氣體，這就是意味著已具備發(fā)生燃爆的先決條件。通常比空氣輕的氣體在接近地面的大氣中垂直擴(kuò)散大于水平擴(kuò)散；而比空氣重的氣體在大氣中則容易沉降，因而主要是水平擴(kuò)散。水平擴(kuò)散的結(jié)果會(huì)使氣體在風(fēng)向下沿地面大范圍的空間里擴(kuò)散；那后果是不堪設(shè)想的。燃燒是一種同時(shí)伴有發(fā)光、發(fā)熱的激烈的氧化反應(yīng)。燃燒必須同時(shí)具備可燃燒、助燃物、導(dǎo)致燃燒的能源這三個(gè)條件，缺少其中任何一個(gè)條件燃燒便不能發(fā)生。空氣本身就是一種助燃的氧化劑，這一條件隨時(shí)隨地都將存在?？扇嘉锞褪强扇?xì)怏w本身。關(guān)鍵的問題是要控制好點(diǎn)火源和防止氣瓶中可燃?xì)怏w的泄漏。

氧氣在常溫常壓下為無色無臭無味的氣體。液化后成藍(lán)色。氧本身不燃燒，但能助燃。氧的化學(xué)性質(zhì)活潑能與多種元素化合發(fā)出光和熱，也即燃燒。當(dāng)氧與易氧化物質(zhì)反應(yīng)產(chǎn)生的熱積蓄到一定程度時(shí)就會(huì)自燃。當(dāng)空氣中氧的濃度增加時(shí)火焰的溫度和火焰長度就會(huì)增加，可燃物的著火溫度下降。氧與氫的混合氣具有燃爆性。液氧和有機(jī)物（如油脂等）及其它易然物質(zhì)共存時(shí)，特別是高壓下，也具有燃爆的危險(xiǎn)性。