特種氣體：氦氣

氦氣具有化學(xué)惰性，常被用做半導(dǎo)體工業(yè)的保護(hù)氣和科學(xué)實(shí)驗(yàn)中的載體氣。氦氣可以隔絕氧氣，避免電焊工件、單質(zhì)硅和氧氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。目前，保護(hù)氣已成為氦氣的第二大應(yīng)用領(lǐng)域。在氣相色譜中，氦氣作為載體氣可運(yùn)送被測(cè)氣體且不與其發(fā)生反應(yīng)。

 氦氣分子1小，使其穿透能力強(qiáng)、密度1小，被用做管道檢漏，可解決單純依靠聲波檢測(cè)技術(shù)無法解決的問題，對(duì)深埋管道或擁有保溫層防腐層的熱力、輸油、輸氣管道，特別是低壓運(yùn)行的管道，有明顯的檢測(cè)效果。

特種氣體的雜質(zhì)檢測(cè)和監(jiān)控

隨著電子特氣的純度越來越高，對(duì)分析檢測(cè)方法和儀器提出了更高的要求，檢測(cè)限從zui早的ppm級(jí)已經(jīng)發(fā)展到ppt級(jí)。目前國外電子氣體的分析己經(jīng)經(jīng)歷了離線分析、在線分析(on-line)，原位分析(insitu)等幾個(gè)階段。對(duì)于高純度電子氣體的分析，國外已開發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測(cè)試方法和現(xiàn)場(chǎng)分析儀器。因?yàn)榭諝庵醒鯕夂偷獨(dú)夥謮毫ψ?大、氣體分子相對(duì)較小，管道材料對(duì)氣體的滲透性主要表現(xiàn)氧氣和氮?dú)獾臐B透，一般對(duì)氧氣的滲透測(cè)試比較多。而由于我國電子特氣行業(yè)一直重生產(chǎn)而輕檢測(cè)，因此分析方法和分析儀器同國外廠商相比都比較落后。

特種氣體間 speciality gas room是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設(shè)備，并通過管道向用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。（管道封口應(yīng)套上管帽，再采用EP管完好的內(nèi)包裝袋割下15-20公分長套在管口折回后用潔凈膠帶纏好。它的純度和潔凈度直接影響到光電子。