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發(fā)布時間:2021-09-04 04:09  






設計實驗室時應該注意哪些事項:

1、冷卻循環(huán)自來水及洗滌用水的龍to至少應設置1-2個,甚至更多,同時在水池上配置有純水供給點。

2、化學實驗室應有化驗盆、水槽、洗滌池,含有水封,防止實驗廢水返味。實驗室內應有地漏,防止跑水,浸泡實驗室等水患。3、實驗室應設置單相插座若干,設置獨立的配電盤、漏電空氣開關,必要時要設有三相電源。



凈化室工程共包含下列功用室:主實驗室:該實驗室為主體實驗室,規(guī)劃的凈化等級為三十萬級—十萬級。更衣室:該實驗室用于放置更衣柜,進主實驗室之前的替換衣服和鞋運用。緩沖室:該實驗室為ICP儀器室的一個緩沖室,用作隔離實驗室外部的塵土充滿到儀器室內。風淋室:思考更高凈化等級的請求,關于本實驗室的實際請求,能夠不選用。



實驗室潔凈度及壓力梯度:主實驗室:面積為150m2,凈空高度為2.7m,規(guī)劃溫度(空調操控),規(guī)劃濕度(能夠思考添加抽濕機),潔凈等級為三十萬級—十萬級,換氣次數(shù)25次/小時,相對壓力為 10Pa,規(guī)劃送風量900m3/h,過濾器送風口的風量為1000 m3/h。緩沖室:面積為2.9m2,凈空高度為2.7m,潔凈等級為十萬級,換氣次數(shù)15次/小時,相對壓力為 5Pa,規(guī)劃送風量110m3/h,過濾器送風口的風量為500 m3/h。



凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工技術請求來斷定,在滿意加工技術的條件下,必選應當思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請求的進步,技術對溫濕度的請求也越來越高,有必要到達必定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就導致了0.24um線性膨脹,所以有必要有±0.1度的恒溫,一起請求濕度值通常較低,因為人出汗今后,對商品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超越25度。


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