DWS型電容測(cè)微儀是電容不接觸式通用性精密測(cè)量?jī)x器，它既是測(cè)振儀，又是測(cè)微儀，既能測(cè)量動(dòng)態(tài)位移，又能測(cè)量靜態(tài)位移，具有一般非接觸式儀器所共有的無(wú)磨擦，無(wú)磨損和無(wú)惰性特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)，在科學(xué)院、工程院、航天、航空、高等院校、研究所、工廠得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種不可缺少的測(cè)試儀器?，F(xiàn)在電容測(cè)微儀的主要生產(chǎn)廠家有天津大學(xué)精儀學(xué)院，英國(guó)QueensgateInstrument公司，美國(guó)WanyeKerr公司等。儀器遠(yuǎn)銷國(guó)內(nèi)外，收到國(guó)內(nèi)外用戶的一致好評(píng)。

從加工方法的機(jī)理、特點(diǎn)和傳統(tǒng)來(lái)分類，精密和超精密加工又可分為傳統(tǒng)加工、非傳統(tǒng)加工和復(fù)合加工。傳統(tǒng)加工是指刀具切削加工、固結(jié)磨料和游離磨料的磨削加工；非傳統(tǒng)加工是指利用電能、磁能、聲能、光能、化學(xué)能和核能等對(duì)材料進(jìn)行加工和處理；復(fù)合加工是采用多種加工方法的復(fù)合作用，進(jìn)行優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，相輔相成。美國(guó)HP、zygo、英國(guó)Taylor等公司的測(cè)量?jī)x器均可以滿足納米測(cè)量的需求。當(dāng)前，在制造業(yè)中，占主要地位的仍是傳統(tǒng)加工方法。  在加工精度的量級(jí)上，精密加工是指加工精度為1～0.1?μm，表面粗糙度為0.1～0.025μm的加工技術(shù)，超精密加工是指加工精度高于0.1?μm，表面粗糙度小于0.025?μm的加工技術(shù)。目前超精密加工已進(jìn)入納米級(jí)精度階段，故出現(xiàn)了納米加工及其相應(yīng)的技術(shù)。

1981年美國(guó)IBM公司研制成功的掃描隧道顯微鏡(STM)，將人們帶到了微觀世界。兩者密切聯(lián)系，許多精密和超精密加工要靠自動(dòng)化技術(shù)才能達(dá)到預(yù)期目標(biāo)，而不少制造自動(dòng)化則有賴于精密加工才能達(dá)到設(shè)計(jì)要求。STM具有極高的空間分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分別達(dá)到0.1?nm和0.01?nm，即可分辨出單個(gè)原子)，廣泛應(yīng)用于表面科學(xué)、材料科學(xué)和生命科學(xué)等研究領(lǐng)域，在一定程度上推動(dòng)了納米技術(shù)的產(chǎn)生和發(fā)展。與此同時(shí)，基于STM相似原理與結(jié)構(gòu)，相繼產(chǎn)生了一系列利用探針與樣品的不同相互作用來(lái)探測(cè)表面或界面在納米尺度上表現(xiàn)出來(lái)性質(zhì)的掃描探針顯微鏡(SPM)，用來(lái)獲取通過(guò)STM無(wú)法獲取的有關(guān)表面結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的各種信息。