恒溫烤箱——烤箱的恒溫度

恒溫，是在一定的環(huán)境下保持不變的溫度，需要精密的儀器來隨時(shí)測(cè)定溫度的變化，然后調(diào)節(jié)溫度，使之始終是一個(gè)溫度

恒溫：是一個(gè)專業(yè)術(shù)語，用人工或自動(dòng)控制方法保持溫度值的恒定不變。所設(shè)定的溫度值不受其它因素的影響，也使初期設(shè)定的溫度與任何一時(shí)刻的溫度相同或者相近似

能達(dá)到250-300度的烤箱，就是好的烤箱?？鞠涞妮^高溫度越高，證明烤箱質(zhì)量可靠。普通烤箱溫度一般都會(huì)在200度以下。

1、內(nèi)膽尺寸：高1000*寬2000*深3500mm

2、外框尺寸：高1380*寬1340*深3600mm（不含電機(jī)高度）

3、溫度范圍：RT 20--- 200 ℃

4、控溫精度：±1℃（溫控表解析精度）

5、內(nèi)部溫差：±2℃（空載測(cè)試）

6、加熱功率：42KW

7、內(nèi)膽材質(zhì)：SUS304#不銹鋼。

8、溫度控制：選用智能雙LED數(shù)顯溫控表，具有P.I.D自整定，配合SSR固態(tài)繼電器輸出，使得控溫控制更精準(zhǔn)。

9、保護(hù)裝置：烤箱具有漏電（短路）保護(hù)，相序缺相（錯(cuò)相）保護(hù)，電機(jī)過載（過流）保護(hù)，超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱主要特點(diǎn)

　熱風(fēng)循環(huán)烘箱特點(diǎn)：

　　1、熱風(fēng)在烘箱內(nèi)循環(huán)，熱效率l高，節(jié)約能源。

　　2、利用強(qiáng)制通風(fēng)作用，烘箱內(nèi)設(shè)有風(fēng)道，物料干燥均勻。

　　3、烘箱運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。自動(dòng)控溫，安裝維修方便。

　　4、適用范圍廣，可干燥各種物料，是理想的通用干燥設(shè)備。

　　5、風(fēng)循環(huán)烘箱的溫度：

　　6、熱風(fēng)循環(huán)烘箱應(yīng)用的范圍很廣泛，可干燥各種工業(yè)物料，是通用的干燥設(shè)備，一般熱風(fēng)循

　　7、環(huán)烘箱溫度范圍為室溫~ 250℃，高溫型為室溫~ 500℃。

工業(yè)烘箱的正確維護(hù)保養(yǎng)，提高烘箱設(shè)備的使用壽命。

維護(hù)保養(yǎng)需知：

1）上下班用軟布把烘箱表面擦干凈，保持烤箱表面清潔，防止表層脫漆影響外觀。

2）工業(yè)烤箱內(nèi)應(yīng)經(jīng)常擦拭，以免腐蝕性物質(zhì)粘附在內(nèi)膽上，影響烤箱使用壽命。

3）鼓風(fēng)烘箱烘烤之溫度絕l不能超過本機(jī)之規(guī)定溫度。

4）不可將工業(yè)烤箱風(fēng)道和風(fēng)孔堵死，以保證正常送風(fēng)風(fēng)道。

5）在電熱烤箱烘烤過程中聽到聲音異常應(yīng)立即停止工作，檢查馬達(dá)及風(fēng)葉輪，以免燒壞馬達(dá)。

6）高溫烘烤物品后，不能立即關(guān)掉總開關(guān)，應(yīng)打開風(fēng)扇開關(guān)讓熱量散發(fā)出去后方可關(guān)機(jī)，以免烤箱局部受熱變形。

7）熱風(fēng)循環(huán)烘箱電控制箱應(yīng)定期檢修，由于電熱接觸器頻繁通斷，定期更換，以防觸頭燒壞咬死，不能切斷電熱電源，爐內(nèi)溫度升高會(huì)烤壞產(chǎn)品。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時(shí)間的延長(zhǎng)，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時(shí)間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時(shí)間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對(duì)齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個(gè)層的位置不能移動(dòng)。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對(duì)開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對(duì)齊在晶片上。