恒溫烤箱——烤箱的恒溫度

恒溫，是在一定的環(huán)境下保持不變的溫度，需要精密的儀器來隨時測定溫度的變化，然后調(diào)節(jié)溫度，使之始終是一個溫度

恒溫：是一個術(shù)語，用人工或自動控制方法保持溫度值的恒定不變。所設(shè)定的溫度值不受其它因素的影響，也使初期設(shè)定的溫度與任何一時刻的溫度相同或者相近似

能達(dá)到250-300度的烤箱，就是好的烤箱?？鞠涞妮^高溫度越高，證明烤箱質(zhì)量可靠。普通烤箱溫度一般都會在200度以下。

1、內(nèi)膽尺寸：高1000*寬2000*深3500mm

2、外框尺寸：高1380*寬1340*深3600mm（不含電機(jī)高度）

3、溫度范圍：RT 20--- 200 ℃

4、控溫精度：±1℃（溫控表解析精度）

5、內(nèi)部溫差：±2℃（空載測試）

6、加熱功率：42KW

7、內(nèi)膽材質(zhì)：SUS304#不銹鋼。

8、溫度控制：選用智能雙LED數(shù)顯溫控表，具有P.I.D自整定，配合SSR固態(tài)繼電器輸出，使得控溫控制更。

9、保護(hù)裝置：烤箱具有漏電（短路）保護(hù)，相序缺相（錯相）保護(hù)，電機(jī)過載（過流）保護(hù)，超溫斷電保護(hù)。

   烘箱的熱風(fēng)循環(huán)加熱方式，與普通的散熱加熱方式相比，有著更好的氣體流動性，能加快工業(yè)烘箱內(nèi)物料的干燥速度。　　      

      烘箱原理：烘箱在工作時，操作人員通過儀表和感溫器來獲得烘箱內(nèi)部的溫度值，在通過控制系統(tǒng)進(jìn)行操作?！　?     

      時代在不斷的發(fā)展，行業(yè)間的競爭更是技術(shù)之間的競爭，產(chǎn)品自身不斷創(chuàng)新改革，提升技術(shù)含量，才能滿足市場和用戶的需求，才能在市場上立于不敗之地。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。干燥結(jié)束后應(yīng)先關(guān)閉干燥箱電源，開啟放氣閥，解除箱內(nèi)真空狀態(tài)，再打開箱門取出物品。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因為不管烘箱什么結(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)主要包括旋風(fēng)分離器、鼓風(fēng)機(jī)、空氣過濾器和加熱器等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。