真空鍍膜則是相對于上述的濕式鍍膜方法而發(fā)展起來的一種新型鍍膜技術(shù)，通常稱為干式鍍膜技術(shù)。

真空鍍膜技術(shù)一般分為兩大類，即物理氣相沉積（PVD）技術(shù)和化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)。

物理氣相沉積技術(shù)是指在真空條件下，利用各種物理方法，將鍍料氣化成原子、分子或使其離化為離子，直接沉積到基體表面上的方法。制備硬質(zhì)反應(yīng)膜大多以物理氣相沉積方法制得，它利用某種物理過程，如物質(zhì)的熱蒸發(fā)，或受到離子轟擊時物質(zhì)表面原子的濺射等現(xiàn)象，實(shí)現(xiàn)物質(zhì)原子從源物質(zhì)到薄膜的可控轉(zhuǎn)移過程。物理氣相沉積技術(shù)具有膜/基結(jié)合力好、薄膜均勻致密、薄膜厚度可控性好、應(yīng)用的靶材廣泛、濺射范圍寬、可沉積厚膜、可制取成分穩(wěn)定的合金膜和重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)。同時，物理氣相沉積技術(shù)由于其工藝處理溫度可控制在500℃以下，因此可作為終的處理工藝用于高速鋼和硬質(zhì)合金類的薄膜刀具上。由于采用物理氣相沉積工藝可大幅度提高刀具的切削性能，人們在競相開發(fā)、高可靠性設(shè)備的同時，也對其應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)展，尤其是在高速鋼、硬質(zhì)合金和陶瓷類刀具中的應(yīng)用進(jìn)行了更加深入的研究。

化學(xué)氣相沉積技術(shù)是把含有構(gòu)成薄膜元素的單質(zhì)氣體或化合物供給基體，借助氣相作用或基體表面上的化學(xué)反應(yīng)，在基體上制出金屬或化合物薄膜的方法，主要包括常壓化學(xué)氣相沉積、低壓化學(xué)氣相沉積和兼有CVD和PVD兩者特點(diǎn)的等離子化學(xué)氣相沉積等。

AF真空鍍膜機(jī)鍍膜原理

AF真空鍍膜機(jī)鍍膜原理：減反射膜又稱增透膜，它的主要功能是減少或消除透鏡、棱鏡、平面鏡等學(xué)表面的反射光，從而增加這些元件的透光量，減少或消除系統(tǒng)的雜散光。減反射膜是以光的波動性和干涉現(xiàn)象為基礎(chǔ)的。二個振幅相同，波長相同的光波疊加，那么光波的振幅增強(qiáng)；如果二個光波原由相同，波程相差，如果這二個光波疊加，那么互相抵消了。減反射膜就是利用了這個原理，在鏡片的表面鍍上減反射膜(AR-coating），使得膜層前后表面產(chǎn)生的反射光互相干擾，從而抵消了反射光，達(dá)到減反射的效果。簡單的增透膜是單層膜。一般情況下，采用單層增透膜很難達(dá)到理想的增透效果,為了在單波長實(shí)現(xiàn)零反射,或在較寬的光譜區(qū)達(dá)到好的增透效果，往往采用雙層、三層甚至更多層數(shù)的減反射膜。減反射膜的實(shí)際應(yīng)用非常廣泛，常見的是鏡片及太陽能電池-通過制備減反射膜來提高光伏組件的功率瓦值。目前晶體硅光伏電池使用的減反射膜材料是氮化硅，采用等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積技術(shù)，使氨氣離子化，沉積在硅片的表面，具有較高的折射率，能起到較好的減反射效果。早期的光伏電池采用二氧化硅和二氧化鈦膜作為減反射層。

電子束光學(xué)鍍膜機(jī)有哪些特點(diǎn)

在玻璃/PMMA/PC基片上形成光學(xué)多層薄膜的精密真空鍍膜機(jī)。將滿足客戶需求的多種元件組合在一起，可以形成品質(zhì)更加優(yōu)良的薄膜。

基片傘架采用了每分鐘可轉(zhuǎn)60轉(zhuǎn)的中心旋轉(zhuǎn)方式(公轉(zhuǎn))，減少產(chǎn)生振動和顆粒，使基片能夠穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)。

采用坩堝上沒有極片的電子束加熱方式(2臺電子槍，10kW型)作為蒸發(fā)源，可以穩(wěn)定地形成多層膜。

采用本公司獨(dú)有的比率控制法和多點(diǎn)在線監(jiān)控，可以形成且穩(wěn)定的光學(xué)多層膜。

可利用操作性良好的升降機(jī)來取出基片傘架。

冷成型模真空鍍膜機(jī)

高強(qiáng)度材料成形冷成型模真空鍍膜機(jī)高強(qiáng)度金屬成型中存在的高成型壓力和產(chǎn)生的摩擦成為工模具和涂層要面對的重要挑戰(zhàn)。PVD和CVD涂層展示的韌性、耐磨性和抗磨損性能顯著提高工具的生產(chǎn)能力。

HC90Concept，作為一種無需氮化處理的新型物理氣相沉積（PVD）涂層，對于這些應(yīng)用領(lǐng)域來講是非常理想的解決方案。HC22，HC25，HC30或HC62，均結(jié)合了氮化處理，對于公差要求高的工具是非常合適的涂層方案。HC02和HC62是非常適合公差要求不高工具的涂層方案。

有色金屬材料成型有色金屬材料通常比一般鋼材有更好的成形性，但其表面更難改變。HCPVD和PACVD涂層工藝的韌性、耐磨性、低摩擦和抗磨損性能夠顯著加強(qiáng)工具的生產(chǎn)能力，提高零部件的質(zhì)量。冷鍛冷鍛是一種將固定大小的金屬塊組合成等量的復(fù)雜形狀的成型工藝。此過程中的工模具要經(jīng)受高強(qiáng)度的壓力和高速率，和工件接觸的表面必然會產(chǎn)生磨料和粘著磨損。HCPVD和PACVD和HCCVD涂層工藝的韌性、耐磨性和低摩擦性能能夠顯著提高工模具的使用壽命和產(chǎn)品的質(zhì)量。