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空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入無(wú)塵室,并由無(wú)塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。無(wú)塵室內(nèi)的氣流是左右無(wú)塵室性能的重要因素,一般無(wú)塵室的氣流速度是選0。亂流無(wú)塵室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化級(jí)別(換氣次數(shù)越多,凈化級(jí)別越高)。此型式適用于無(wú)塵室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。
工業(yè)無(wú)塵室用途——以無(wú)生命微粒的控制為對(duì)象。無(wú)塵室(無(wú)塵廠房)主要控制空氣塵埃微粒對(duì)工作對(duì)象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。個(gè)人物品,例如煙、錢(qián)包、紙巾和紙制品,都要存放在辦公桌或者儲(chǔ)物柜里,不能把它們帶進(jìn)潔凈室。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)(半導(dǎo)體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤(pán)、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤(pán)、電腦磁頭生產(chǎn)等多種不同行業(yè)。
在電子元件制品的制造過(guò)程中,微粒子污染對(duì)成品率有重大影響,故應(yīng)在過(guò)程中嚴(yán)格控制微粒子的數(shù)量,遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲(chǔ)備、除去”四項(xiàng)基本原則以防止微粒子污染。
無(wú)塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度,使用的過(guò)濾器即可容易達(dá)到零水平,實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等,在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染。
潔凈室用鞋要合腳且穿起來(lái)舒適為基本條件,容易洗滌,底則采用塑膠底,布質(zhì)部分則采用與潔凈衣相同材質(zhì)即可,鞋子穿著時(shí)潔凈衣腳跟部分應(yīng)完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹(shù)脂(Vinyl),在使用過(guò)程中若有不舒適感或妨害手指脂觸感者則停止使用,手套表面有粉質(zhì)時(shí)須去除或停用,原則上以使用無(wú)粉之Vinyl手套為佳。通過(guò)風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進(jìn)入無(wú)塵室。(清潔急救網(wǎng)合作工廠伙伴為清潔同行提供無(wú)塵車(chē)間實(shí)地演示)無(wú)塵衣、鞋、帽子等須由專人管理,并定期做清洗,清洗須在潔凈室內(nèi)進(jìn)行,并以純水配合清潔溶劑,并經(jīng)約0.2μm過(guò)濾器為之,一般洗滌周期視清潔度等級(jí)而定,在高潔凈區(qū)為2~3天,其他區(qū)域則為5天~1星期,洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封。洗滌衣置放場(chǎng)所須為潔凈室,備用品或新品存放柜內(nèi),正使用者則吊掛衣架上,以為方便取用。