一般來說,百級凈化無塵車間,要求每立方米空氣中,0.5微米的容許粒子數(shù)小于3520個,5微米的容許粒子數(shù)小于293個。千級凈化無塵車間,則要求每立方米空氣中,0.5微米的容許粒子數(shù)小于35200個,5微米的容許粒子數(shù)小于2930個。萬級凈化無塵車間,要求每立方米空氣中,0.5微米的容許粒子數(shù)小于352000個,5微米的容許粒子數(shù)小于29300個。
光學微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計之密閉空間。光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物的化學、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為在科技發(fā)展上極為重視的項目,而我公司的設(shè)計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于地位。
做十萬級無塵車間凈化工程的企業(yè)都知道,過濾器的安裝和密封直接影響潔凈室的凈化效果。那么過濾器如何安裝?固定過濾器的骨架材料須平整并具有良好的剛度,防火和不發(fā)塵。鋁合金骨架自重輕,一般鋼材(槽鋼、角鋼、T形鋼、工型鋼和鋼板)骨架須防止生銹,表面層應(yīng)作鍍鋅處理。施工安裝時表面仍難免受到破損,還須用涂料進行局部修補,也可采用鋼骨架表面直接噴涂高強耐老化的涂料。無論采用何種骨架,都應(yīng)注意骨架構(gòu)件間的連接嚴密和平整,否則會使安裝過濾器的基層界面高低不平,直接影響密封質(zhì)量。