從60年代中期起，SF6被廣泛用作高壓電氣設備的絕緣介質。SF6氣體絕緣的全封閉開關設備比常規(guī)的敞開式高壓配電裝置占地面積小得多，且其運行不受外界氣象和環(huán)境條件的影響，因此不僅廣泛用于超高壓和特高壓電力系統(tǒng)，而且已開始用于配電網(wǎng)絡(SF6氣體絕緣的開關柜和環(huán)網(wǎng)供電單元)。SF6氣體絕緣的管道輸電線的優(yōu)點是介質損耗小、傳輸容量大，且可用于高落差場合，因此常用于水電站出線，取代常規(guī)的充油電纜。當然清洗出的吸附劑、金屬粉末需要經(jīng)過中和處理之后進行深埋，不得直接排放到外部環(huán)境中。SF6氣體絕緣的變壓器具有防火防爆的優(yōu)點，這種配電變壓器特別適用于人口稠密的地區(qū)和高層建筑的供電。SF6氣體絕緣的超高壓變壓器已研制成功，全氣體絕緣變電所將是變電技術發(fā)展的一個方向。

純凈的SF6氣體雖然無毒，但在工作場所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會出現(xiàn)使人窒息的危險，設計戶內(nèi)通風裝置時要考慮到這一情況。

高壓擊穿技術。

Dian擊穿技術是從SF6在電力上的典型應用——作為絕緣氣體應用在GIS開關柜中演變而來的。其工作原理是根據(jù)SF6氣體絕緣的特性，從置于被檢測空氣中的高壓電極間Dian壓的變化來判斷空氣中是否含有SF6氣體。除在上面的合成過程中產(chǎn)生的雜質外，另外，在氣體的充裝過程中還可能混入少量的空氣、水分、和礦物油等雜質，這些雜質均帶有或會產(chǎn)生一定的毒性物質。因其結構相對簡單，成本低，檢測精度相對高的特點。

充裝六氟化硫氣體嚴禁水分進入

（1）工作未開始之前，首先應測定現(xiàn)場周圍環(huán)境空氣相對濕度≤80％（即空氣中水蒸汽密度和同溫度下飽和水蒸汽密度比的百分值），這是限制空氣含水具體示數(shù)。測定如不合格，則應采取措施或重選干燥晴朗的天氣進行充裝。

 （2）為使SF6泄漏氣體及時排換，主尖在進行充裝的同時開啟通風機，認真遵守空氣SF6含量不得超過1000ppm的規(guī)定。在工作開始后的一定時間內(nèi)即應進行檢測，并具體情況于中途再進行檢側。目前國內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預計。當出現(xiàn)SF6氣體含量增i高或超過標準時，應隨即對部件進行詳細檢查，查找原因并予以消除。