從60年代中期起，SF6被廣泛用作高壓電氣設(shè)備的絕緣介質(zhì)。SF6氣體絕緣的全封閉開關(guān)設(shè)備比常規(guī)的敞開式高壓配電裝置占地面積小得多，且其運(yùn)行不受外界氣象和環(huán)境條件的影響，因此不僅廣泛用于超高壓和特高壓電力系統(tǒng)，而且已開始用于配電網(wǎng)絡(luò)(SF6氣體絕緣的開關(guān)柜和環(huán)網(wǎng)供電單元)。SF6氣體絕緣的管道輸電線的優(yōu)點(diǎn)是介質(zhì)損耗小、傳輸容量大，且可用于高落差場合，因此常用于水電站出線，取代常規(guī)的充油電纜。SF6氣體絕緣的變壓器具有防火防爆的優(yōu)點(diǎn)，這種配電變壓器特別適用于人口稠密的地區(qū)和高層建筑的供電。6810、溶解性：微溶于水，溶于乙醇、yi醚11、汽化熱（Kg/mol）：23。SF6氣體絕緣的超高壓變壓器已研制成功，全氣體絕緣變電所將是變電技術(shù)發(fā)展的一個(gè)方向。

高純六氟化硫的應(yīng)用

 六氟化硫的使用可以增加設(shè)備運(yùn)行的安全性、縮小設(shè)備體積、延長設(shè)備壽命。近幾年，國家大力發(fā)展基礎(chǔ)電力行業(yè)，給六氟化硫廠家?guī)砹撕艽蟮氖袌鰴C(jī)遇。

高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，國內(nèi)需求非常旺盛，而且附加值較高。

 高純六氟化硫主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中作清洗氣體。

 六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來，各公司以廉價(jià)的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術(shù)正被廣泛研究。

 該技術(shù)在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當(dāng)比例的CVD氣體成本的同時(shí)，還顯示出了極i佳的環(huán)保前景，近年來用量有明顯的提高。

 據(jù)權(quán)i威機(jī)構(gòu)預(yù)測，2010年我國將成為僅次于美國的世界第二大集成電路市場，總需求量約為500億美元。目前國內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預(yù)計(jì)。2016年將達(dá)到700噸左右，

 國內(nèi)使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線有近50條，在未來的五年預(yù)計(jì)將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純六氟化硫?yàn)?00噸左右。而國內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足市場需求，半導(dǎo)體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進(jìn)口，這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機(jī)遇。另還可能有硫化氫、HF等劇i毒物質(zhì)，不但會(huì)腐蝕設(shè)備，一旦發(fā)生泄漏就會(huì)直接危害工作人員的生命健康。

國家對(duì)于防范六氟化硫氣體中i毒有何規(guī)范？

     各級(jí)機(jī)構(gòu)應(yīng)在安全部門設(shè)立六氟化硫安全防護(hù)專責(zé)崗，負(fù)責(zé)有關(guān)六氟化硫氣體安全防護(hù)工作。運(yùn)行、檢修、試驗(yàn)部門應(yīng)有專職人員負(fù)責(zé)安全防護(hù)。六氟化硫安全防護(hù)應(yīng)列入化學(xué)技術(shù)監(jiān)督范疇。各類安全監(jiān)測儀表要定期標(biāo)定、校準(zhǔn)，隨時(shí)處于完好狀態(tài)。對(duì)設(shè)備運(yùn)行、檢修及氣體試驗(yàn)人員應(yīng)給予營養(yǎng)保健補(bǔ)助。從事有關(guān)六氟化硫氣體試驗(yàn)、運(yùn)行、檢修和監(jiān)督的工作人員，每年應(yīng)體檢1~2次，體檢項(xiàng)目應(yīng)有特殊要求（如血相、呼吸系統(tǒng)、皮膚、骨質(zhì)密度等），并建立健康檔案。用硫化氫與無水氫氟酸電解時(shí)，以鎳作極，鐵作陰極，溫度為－10～20℃，電壓為7～20V。