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3M氟化液FC-40是無色透明全氟化學(xué)品,具有良好的化學(xué)惰性、電氣絕緣性能、熱傳導(dǎo)性和獨特的第表面張力廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造廠作為熱傳導(dǎo)介質(zhì)。其液體溫度范圍為-57°C 至 155°C,主要應(yīng)用于蝕刻設(shè)備、離子注入設(shè)備、測試設(shè)備及其他設(shè)備。因為FC-40是單一組分,所以其成分不好出現(xiàn)降解或者過期。FC-40沸點高,其隨時間的揮發(fā)也比較少。
電子氟化液有著良好的化學(xué)惰性,與電子類部件接觸時,不會對其產(chǎn)生任何腐蝕。使用過后也不需特定的清洗步驟,因此廣泛用作電子測試液體。同時因其出色的熱傳導(dǎo)性也被用做穩(wěn)定的冷卻液。FMD- 50電子氟化液為高穩(wěn)定性無色無味、清澈透明低沸點氟化液,用于清洗領(lǐng)域能快速干燥。具有優(yōu)異的環(huán)保性、安全性不燃,極低的表面張力、對極細空隙的滲透力以及材料相容性。FMD-120電子氟化液為高穩(wěn)定性無色無味無毒全氟液體,是中國國內(nèi)首l家研發(fā)并生產(chǎn)的高沸點氟化液。具有優(yōu)異的介電常數(shù)、穩(wěn)定的化學(xué)惰性、良好的導(dǎo)熱性能,極低的表面張力和運動粘度,以及系統(tǒng)相容性。
3M Novec7100電子氟化液的沸點為61°C,其溶解力強,適用于氣相去污、濕式清潔的作用。3M Novec7100電子氟化液具備低表面張力,可深入滲透精密電子儀器中極微小的縫隙,提供完全徹底的清潔效果。而且3M7100電子氟化液可單獨或混合其它溶劑使用,此化學(xué)液與大部份的金屬、塑件及橡膠材質(zhì)的兼容性。 熱傳導(dǎo)的化學(xué)液 3M Novec7100電子氟化液的液態(tài)范圍很寛廣,溫度從零下135°C到61°C,可廣泛的適用于一般的工業(yè)或電子行業(yè)。且特別適用于半導(dǎo)體中,自動測試機臺(ATE)及芯片中需低溫控制之設(shè)備。3M Novec7100電子氟化液毒性低,不可燃,不會破壞臭氧層(ODP值=零),比PFC更環(huán)保。
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沉積用的溶劑
3M Novec7100電子氟化液具有低黏度及低表面張力的特性,所以3M Novec7100電子氟化液具有高潤濕性與易流動的性能,其產(chǎn)品表現(xiàn)與PF-5060DL很類似。因此,3M Novec7100電子氟化液對全氟聚醚(PFPE)潤滑劑,能有效的溶解制程中所需之添加物。