好的潔凈車間設計不僅能節(jié)省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運行成本很低，潔凈度安全性很高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。此外，還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務設備區(qū)域，包括電力供應、氣體和化學品供應、超純水供應等。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關鍵的工藝設備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設計趨勢。

　　潔凈車間是一個多功能的綜合體，潔凈車間工程是一個多學科、多領域、綜合性的工程。由于潔凈車間工程技術難度高，工程造價大，因此，在實施潔凈工程時，一直注重潔凈車間的設計。清潔車間的設計一般應遵循“三不一要”的原則。

　　一、不帶入：不向潔凈車間帶入任何灰塵。

　　遵循這個原則，潔凈車間設計時，應做好如下的工作：

　　1、過濾器正確安裝，不會出現(xiàn)灰塵泄漏的情況。

　　2、保持潔凈車間相對于室外的正壓，只能讓室內(nèi)的污染空氣出去，不能讓室外的空氣通過縫隙進入潔凈車間。

　　3、人員進入潔凈車間之前，必須做好清潔工作，更換潔凈服，并經(jīng)過風淋室風淋，如此方可進入。

　　4、材料與設備經(jīng)清潔后方可進入潔凈車間。

潔凈室內(nèi)通常都布置有通風空調(diào)系統(tǒng)，其目的是為了保障潔凈室內(nèi)各潔凈室的空氣潔凈度，但同時也帶來了一潛在的火災隱患，如果對通風空調(diào)系統(tǒng)防火處理不當，就會使煙火通過通風空調(diào)管網(wǎng)四處蔓延，造成火勢擴大。應該特別指出，凈化車間門扇比窗扇大而且重，密封壓緊時施力要大得多，特別平時總在不斷啟閉旋轉(zhuǎn)，故還須從控制凈化車間門扇下垂和保證凈化車間門扇剛度等方面來著重考慮五金選用問題。因此，我們在設計時要按規(guī)范要求在通風空調(diào)管網(wǎng)的適當部位合理設置防火閥，并按要求選好管網(wǎng)材料，做好管網(wǎng)穿墻、穿樓板的防火封堵工作，防止火勢隨通風空調(diào)系統(tǒng)蔓延。

同時，由于潔凈室相對密閉，不利于自然排煙。應在廠房內(nèi)設置事故排煙系統(tǒng)，在疏散走道上設置正壓送風的機械排煙系統(tǒng)，確保煙氣能迅速排出室內(nèi)，不至于進入到疏散走道，從而保證人員能及時安全地撤離起火地點。凈化車間門窗縫隙的處理一般來說，凈化車間門窗大都共同具有三類構(gòu)造縫隙。在潔凈室裝修中，我們必須注意裝修材料的燃燒性能，盡量減少使用一些高分子合成材料，以避免火災發(fā)生時產(chǎn)生大量煙氣，不利于人員逃生。另外，要對電氣線路的穿管做嚴格要求，在有條件的地方要盡量使用鋼管，保證電氣線路不成為火災蔓延的途徑。