無塵車間的施工步驟：

　　1、認真檢查地面平整度及墻面垂直度，如發(fā)現(xiàn)有重大缺陷或需要局部改造，應向甲方有關部門提出；

　　2、拉水平線，并將地板安裝高度用墨線彈到墻面上，保證鋪設后的地板在同一水平內(nèi)，測量室內(nèi)的長度、寬度及選擇基準位置，并在地面彈出安裝支座的網(wǎng)絡格線，以保證鋪設整齊、美觀，同時盡量減少地板的切割；

　　3、將要安裝的支座調(diào)整到同一需要的高度并將支座擺到地面網(wǎng)格線的十字交點處；

　　4、用安裝螺釘將桁梁固定到支座上，并用水平尺、直角尺逐一校正桁梁，使之既在同一平面內(nèi)，又相互垂直；

　　5、用吸板器在組裝好的桁梁上放置活動地板；

　　6、若靠近墻面處剩余尺寸小于活動地板的長度，可以用切割地板的方法進行拼補；

　　7、在鋪設地板時，用水泡水平儀逐塊找平，活動地板的的高度靠可調(diào)支座調(diào)節(jié)，鋪設過程中應輕拿輕放，防止劃傷地板及損壞邊條，同時應邊鋪設邊打掃，避免將雜物、灰塵遺留在地板下面；

　　8、在機房設置較重設備時，可在設備基座的地板下加裝支座，以防地板變形；

　　9、HPL裝飾板需要切割或開口加工時，其開口凹角處應制φ6～φ８止裂孔，以防止加工后的地板裝飾面開裂。

　　10、如在防靜電要求較高的場所可以在支架下面加裝導電銅帶以提升導電效果，在地板支架下面橫豎排列整齊，板面常用的規(guī)格有2×0.05～４×０.０８～６×０.５ＭＭ，不同的防靜電環(huán)境需求選用不同的規(guī)格，按甲方設計需求施工。

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無塵車間的節(jié)能原則

無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風和空調(diào)（HVAC）、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。高的效率的設計和高的效率設備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經(jīng)濟漩渦當中 。建立無塵車間安全措施綜合系統(tǒng)，設置火災報警、排煙、消防、事故照明等設施，對制劑中使用化學藥品、氣體的無塵車間，還應根據(jù)腐蝕、可燃、自燃、有毒等物品性質(zhì)采取相應的安全措施。