金剛石線切割設(shè)備

金剛石線切割設(shè)備成為研究和發(fā)展的主流趨勢，本文介紹國外硅片切割設(shè)備研究的新進(jìn)展以及國內(nèi)發(fā)展?fàn)顩r，并介紹筆者參與研制的金剛石環(huán)形線鋸機(jī)的功能、特點(diǎn)和設(shè)計(jì)心得體會及金剛石單線和環(huán)線切割機(jī)應(yīng)用前景展望。

目前，硬脆性材料，如單晶硅、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等，具有優(yōu)良、穩(wěn)定的物理和化學(xué)性能(如抗腐蝕性、電絕緣性,耐磨損性等)，在電子、光學(xué)及其它領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用、，特別是單晶硅、多晶硅、陶瓷材料被廣泛用于太陽能光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、真空電鍍等高精端產(chǎn)業(yè)中。超硬材料行業(yè)應(yīng)該為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，為減少硅材料消耗，降低制造成本，解決生產(chǎn)中的關(guān)鍵，打破當(dāng)前國外設(shè)備的壟斷局面，做出更大的貢獻(xiàn)。伴隨半導(dǎo)體、光伏材料技術(shù)的發(fā)展，需求量不斷增加，切割加工量大幅增長，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工難度較大。

國內(nèi)半導(dǎo)體制造和光伏電池上游加工，包括：去頭尾、截?cái)?、開方等的加工，大部分仍然采用金剛石帶鋸設(shè)備。加工表面粗糙，浪費(fèi)材料，金剛石帶鋸價(jià)格也不菲。

實(shí)際上，應(yīng)該使用金剛石線鋸機(jī)切割加工，能得到更高的質(zhì)量。

元素環(huán)形金剛石線切割機(jī)的主要性能：

1. 切割晶體尺寸：  300*300 mm

2. 切割線線速度： 小于60 m/s

3. 工作臺進(jìn)給速度：  500 mm/s

4. 晶片表面粗糙度：    Ra≤ 0.2μm

線切割設(shè)備

切割液 

金剛線切割設(shè)備使用的切割液主要作用是冷卻，所以主要采取冷卻水或油基冷卻。根據(jù)材料特性，一般硬度適中（莫氏硬度＜9）的脆性材料切割速度可適當(dāng)快一些，如硅、石墨、壓電陶瓷、玻璃等。使用水做切割液可以混合部分粘合劑，減輕清洗工序工作強(qiáng)度；另一個(gè)作用是切損硅料容易回收。油基冷卻主要是乙二醇做切割液，原理上乙二醇基的切割方法也有助于硅料的回收，但是需要相對復(fù)雜的化學(xué)方法處理，提高了回收成本。

鄭州元素工具秉持技術(shù)至上，服務(wù)為本的經(jīng)營理念，以科技創(chuàng)新和行業(yè)發(fā)展為原動(dòng)力，努力為客戶創(chuàng)造價(jià)值。歡迎各行業(yè)前來咨詢合作。

金屬線切割

金屬線切割過程中的注意事項(xiàng)

如各類硬質(zhì)合金鋼、氮化硅陶瓷、金屬陶瓷、鈦合金、電機(jī)等。元素工具以技術(shù)為導(dǎo)向，擁有多項(xiàng)專利技術(shù)，其主要產(chǎn)品環(huán)形金剛石線為切割行業(yè)解決了多項(xiàng)切割難題，給光伏，磁材，陶瓷，輪胎等行業(yè)帶來了新的活力和競爭優(yōu)勢。這是因?yàn)榻饘兕惖臉悠肪哂姓车兜奶匦?，降低金剛石線的磨削率，若切割速度設(shè)置過快會使與樣品接觸處的金剛石線出現(xiàn)一定向上的弧度，兩個(gè)導(dǎo)向輪間線的跨距越大，允許的弧度越大，一般跨距是900㎜時(shí)允許金剛石線與樣品接觸處出現(xiàn)弧度的至高點(diǎn)與金剛石線的水平位置的距離不超過6㎜