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單晶硅爐用石墨熱場(chǎng)
單晶硅爐用石墨熱場(chǎng),是一個(gè)集物理、化學(xué)、幾何綜合理論為一體,專(zhuān)門(mén)研究人員經(jīng)過(guò)多年反復(fù)考證,多年經(jīng)驗(yàn)總結(jié)制定。
熱場(chǎng)采用細(xì)結(jié)構(gòu)中粗石墨做爐底護(hù)盤(pán)。用于真空冶煉中的石墨隔熱板和底座,高溫電阻爐爐管、棒、板、格柵等元件,也是用石墨材料加工制成的。保溫罩、上下蓋采用進(jìn)口等靜壓石墨做加熱器、坩鍋、導(dǎo)流簡(jiǎn)、托桿、鍋托等,保證了石墨坩堝的強(qiáng)度及純度。熱場(chǎng)是單晶硅成晶的重要條件之一,熱場(chǎng)的梯度分布直接影響著能不能拉出單晶,以及拉制單晶的質(zhì)量好壞,其材質(zhì)好壞直接影響熱場(chǎng)壽命。
石墨材料自身是多孔性的并且具有可滲透性,作為隔熱材料使用時(shí),各層隔熱材料之間不需要預(yù)留額外的空間,非常具有優(yōu)勢(shì),如果是采用了金屬材料比如鉬,來(lái)自焊料的金屬物質(zhì)會(huì)沉積在金屬隔熱屏的表面并融合,引起彎曲和斷裂,雖然焊料也能沉積在石墨表面,但不會(huì)產(chǎn)生融合,至于石墨水分含量的考慮,爐內(nèi)循環(huán)往復(fù)的升溫和降溫能夠很好的排除掉石墨含有的水分,因此石墨在高溫爐熱場(chǎng)尤其是釬焊爐中,是目前優(yōu)選的原材料。其潤(rùn)滑性能隨鱗片大小而變,鱗片愈大,摩擦系數(shù)愈小,潤(rùn)滑性愈好。
1)石墨模具在熱處理前表面有氧化皮、銹斑及局部脫碳。
2)石墨模具淬火加熱后,冷卻淬火介質(zhì)選擇不當(dāng),淬火介質(zhì)中雜質(zhì)過(guò)多或老化。
(2)預(yù)防措施
1)石墨模具熱處理前應(yīng)去除氧化皮、銹斑,在淬火加熱時(shí)適當(dāng)保護(hù)石墨模具表面,應(yīng)盡量采用真空電爐、鹽浴爐和保護(hù)氣氛爐中加熱。
2)石墨模具淬火加熱后冷卻時(shí),應(yīng)選擇合適的冷卻介質(zhì),對(duì)長(zhǎng)期使用的冷卻介質(zhì)要經(jīng)常進(jìn)行過(guò)濾,或定期更換。