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佛山市錦城鍍膜有限公司以耐高溫車輛燈具注塑 鍍膜為主的專業(yè)生產(chǎn)廠家,公司秉承“以質(zhì)取勝,求真務(wù)實(shí),顧客至上”理念,歡迎廣大客戶光臨了解,我們將為你的產(chǎn)品錦上添花.
鍍膜工藝流程中工藝參數(shù)的控制和對膜層沉積的影響 :
靶功率;由于溫,蒸發(fā)料粒子獲得一定動能,則沿著視線方向徐徐上升,最后附著于工件表面上堆積膜。磁控濺射本身粒子初始動能比較小,離化率低,電源功率越大,濺射出的粒子的初始能量越大,靶材濺射量也越大,沉積速率越快,膜層容易上厚度和硬度,同時工件溫升也大,過高的功率會使沉積速率太快,粒子來不及表面遷移和擴(kuò)散,易形成陰影效應(yīng),膜層會比較疏松,應(yīng)力較大。
靶基距:靶基距是影響成膜速率的重要因素之一,隨著靶基距增加,被濺射材料射向基片時與氣體分子碰撞的次數(shù)增多,同時等離子體密度也減弱,動能減少,沉積速率降低,但膜層外觀較好。靶基距太小,沉積太快,工件溫升大,膜層外觀差。
常見的濺射有兩種:不反應(yīng)濺射和反應(yīng)濺射。不反應(yīng)濺射指濺射氣體和鍍膜材料之間不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。因此不反應(yīng)濺射所使用的氣體為惰性氣體,一般使用y氣(Ar),稱為工作氣體。不反應(yīng)濺射一般都用在鍍金屬膜層上,導(dǎo)電性能越好的材料,濺射速率越高。