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Edwards真空分子泵選型的行業(yè)須知「多圖」

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發(fā)布時(shí)間:2020-11-16 12:49  






廣州潽拓光電科技有限公司從事高真空設(shè)備研制、生產(chǎn)、銷(xiāo)售、工程安裝及售后維修服務(wù)于一體的綜合性企業(yè),由從事多年真空系統(tǒng)開(kāi)發(fā),真空設(shè)備技術(shù)研發(fā),維修工程師,工程師組成的一支技術(shù)實(shí)力雄厚,充滿(mǎn)活力的高素質(zhì)團(tuán)隊(duì)。

廣州潽拓光電——出售Edwards-8愛(ài)德華抽真空泵

特點(diǎn)

(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;

(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱(chēng)性,故振動(dòng)小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤(rùn)滑,摩擦損失小,可大大降低驅(qū)動(dòng)功率,從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;

(3)泵腔內(nèi)無(wú)需用油密封和潤(rùn)滑,可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染;

(4)泵腔內(nèi)無(wú)壓縮,無(wú)排氣閥。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊,對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;

(5)壓縮比較低,對(duì)氫氣抽氣效果差;

(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線(xiàn)柱面,加工和檢查比較困難。






(2)泵的傳動(dòng)方式

真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過(guò)一對(duì)齒輪來(lái)實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動(dòng)結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種:其一是電動(dòng)機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電動(dòng)機(jī)端齒輪直接傳過(guò)去帶動(dòng),這樣主動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小,則兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因主動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變,故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中均勻。5bar表壓/7psig蒸汽的最da進(jìn)氣口壓力30mbar/23torr最水蒸汽抽速0。

這種傳動(dòng)方式的zui大缺點(diǎn)是:

a.主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承,增加了泵的加工和裝配難度,齒輪的拆裝及調(diào)整也不便;

b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱(chēng),泵的重xin偏向電動(dòng)機(jī)和齒輪箱一側(cè)


  廣州潽拓光電科技有限公司主要從事機(jī)電自動(dòng)化,光電存儲(chǔ)媒體,半導(dǎo)體,太陽(yáng)能電池板等真空鍍膜設(shè)備維修,銷(xiāo)售,設(shè)計(jì),開(kāi)發(fā)及系統(tǒng)工程,軟件開(kāi)發(fā),承接等,是leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian)等一線(xiàn)品牌分子泵專(zhuān)業(yè)維修廠(chǎng)商。其步驟為,1、切斷電源,將真空泵從真空系統(tǒng)上卸下,2、用重力法或加壓法將臟油放出并收集起來(lái),以免污染環(huán)境。


Edwards EXT406PX 復(fù)合渦輪分子泵

性能特點(diǎn)

真空系統(tǒng)簡(jiǎn)單

* 可以選用較小的前級(jí)泵。

* 降低真空系統(tǒng)體積與功耗。

* 前級(jí)壓力在8mbar就可啟動(dòng),入口負(fù)載可達(dá)2E-3 。

* 前級(jí)壓力為17mbar時(shí),還可維持正常轉(zhuǎn)速。

* 也可使用用戶(hù)自己的24V DC電源。




技術(shù)數(shù)據(jù)

入口法蘭 DN100ISO-K、DN100CF、DN160ISO-K、DN160CF

壓縮比

N2 >1 x 10E11

He 1 x 10E6

H2 5 x 10E4

出口法蘭(前級(jí)泵口) DN25NW

前級(jí)泵(推薦) XDS10或RV12(或其它更小的,依應(yīng)用而定)

放氣口 1/8 inch BSP

吹掃凈化口 1/8 inch BSP




廣州潽拓—{精}愛(ài)德華EDWARDS RV8真空泵



真空泵安裝指導(dǎo)

1、泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實(shí)堅(jiān)固的場(chǎng)所,周?chē)鷳?yīng)留有充分的余地,便于檢查、維護(hù)、保養(yǎng)。

2、泵底座下應(yīng)保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),振動(dòng)小。

3、泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠,對(duì)小泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對(duì)小泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于泵吸氣口徑,且要求管路短而少?gòu)濐^。(焊接管路時(shí)應(yīng)清除管道中焊渣,嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入泵腔。)

4、在連接管路中,用戶(hù)可在泵進(jìn)氣口上方安裝閥門(mén)及真空計(jì),隨時(shí)可檢查泵的極限壓力。

6、泵通電試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),須取下電機(jī)皮帶,確認(rèn)泵轉(zhuǎn)向符合規(guī)定方向方可投入使用,以防泵反轉(zhuǎn)噴油。(轉(zhuǎn)向按防護(hù)罩指示方向)

7、對(duì)于有冷卻水的泵,按規(guī)定接通冷卻水。

8、如泵口安裝電磁閥時(shí),閥與泵應(yīng)同時(shí)動(dòng)作。











潽拓——Edwards真空分子泵選型,分子泵

Edwards NEXT240D英國(guó)愛(ài)德華分子泵維修

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Edwards NEXT240D/NEXT240T愛(ài)德華渦輪分子泵對(duì)應(yīng)的控制器:Edwards  TIC200



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