復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)即各頻帶中心頻率的聲壓級(jí)不得超過該曲線。

對(duì)于以微生物為控制對(duì)象的生物潔凈室（例如：生物制藥、潔凈手術(shù)室、無菌室、生物安全實(shí)驗(yàn)室、實(shí)驗(yàn)無菌動(dòng)物飼養(yǎng)室等）其重點(diǎn)要控制微生物的產(chǎn)生和傳播，因?yàn)槌睗窈退质俏⑸镒躺头敝车臈l件，因此水加濕的淋水、濕膜、高壓噴霧等方法不能用在生物潔凈室中，只能采用干蒸汽加濕和電極（電熱）式加濕。近幾年來，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展，對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目，而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)地位。福州同盛凈化彩鋼板有限公司

為確保潔凈室凈化工程內(nèi)所必須的空氣潔凈度，潔凈室凈化工程設(shè)計(jì)中涉及到的各個(gè)專業(yè)設(shè)計(jì)均應(yīng)采取妥善的、可靠的技術(shù)措施，以減少或防止室內(nèi)產(chǎn)塵、滋生微生物，減少或阻止將微粒微生物或可能會(huì)造成交叉污染的物料帶人潔凈室凈化工程內(nèi)，有效地將室內(nèi)的微粒微生物排出，以減少或防止它們滯留潔凈室凈化工程內(nèi)。對(duì)于因塵粒脆生物或物料的交叉污染會(huì)危害產(chǎn)品雨量或人身安全時(shí)．還應(yīng)采取安全、可靠的技術(shù)措施防讓交叉污染，如嚴(yán)格控制不同用選的潔凈室凈化工程之間的靜壓差，按要求合理地劃分凈化空調(diào)系統(tǒng)以及回風(fēng)系統(tǒng)的妥善設(shè)計(jì)等。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間。