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OLED有機無機聯(lián)合蒸發(fā)系統(tǒng)介紹
以下是沈陽鵬程真空技術(shù)有限責任公司為您一起分享的內(nèi)容,沈陽鵬程真空技術(shù)有限責任公司專業(yè)生產(chǎn)電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品,歡迎新老客戶蒞臨。
OLED有機無機聯(lián)合蒸發(fā)系統(tǒng)的用途 :
適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等,可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗工作。3、有機源蒸發(fā)源4個,容積5ml,2臺蒸發(fā)電源,可測溫控溫,加熱溫度400℃,功率0。與手套箱聯(lián)合系統(tǒng)的用戶群體為科研院所及實驗室,將真空蒸發(fā)系統(tǒng)工作室置于Glove box無水、無氧、無塵的超純環(huán)境中,PVD與Glove box硬件無縫對接,操控融合一體,廣泛應用于有機、無機、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領(lǐng)域
多源有機無機蒸發(fā)?系統(tǒng)有機無機聯(lián)合蒸發(fā)鍍膜機生產(chǎn)廠家
多源有機無機蒸發(fā)系統(tǒng)
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主要用途:
用于納米級單層及多層金屬膜、 半導體膜等新材料的制備。廣泛應用 于大專院校的薄膜材料科研。
系統(tǒng)組成:
由真空室、蒸發(fā)源、樣品臺、 真空測量、膜厚測試、電控系統(tǒng)組成。
技術(shù)指標:
極限真空度5.0×10-5Pa,系統(tǒng)漏率:1×10-7PaL/S; 恢復真空時間:40分鐘可達6.6×10 Pa
真空室:D形真空室,尺寸350× 380mm
樣品臺:尺寸為4英寸厚度3mm的平面樣品;
電極:數(shù)量:4支水冷結(jié)構(gòu);直徑Φ20㎜
樣品基片:,基片在鍍膜位置實現(xiàn)自轉(zhuǎn)?;臏囟葟氖覝刂?00℃
4套擋板系統(tǒng):基片擋板與源擋板;靶擋板共有3套, 樣品擋板(1套)
石英晶振膜厚控制儀:膜厚測量范圍0-999999?
可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統(tǒng)。
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鈣鈦礦鍍膜設備
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設備用途 :
適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等,可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗工作。廣泛應用于有機、無機、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領(lǐng)域
設備組成:
該設備主要由沉積室、真空排氣系統(tǒng)、真空測量、蒸發(fā)源、樣品加熱、電控系統(tǒng)、等部分組成。
1、鍍膜室:方形前后開門結(jié)構(gòu),內(nèi)帶有防污板。
2、真空度:鍍膜室的極限真空≤5×10-5Pa;
3、蒸發(fā)源系統(tǒng):有機源蒸發(fā)源4個,無機蒸發(fā)源2套
4、樣品架系統(tǒng):樣品大小為Φ150mm的樣品,旋轉(zhuǎn)速度為:0~30轉(zhuǎn)/分;
5、樣品在鍍膜過程中,可烘烤加熱,加熱溫度為:室溫~190℃,測溫控溫。
6、膜厚控制儀:測量范圍0-999999?