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發(fā)布時間:2021-08-31 21:27  






氦質(zhì)譜檢漏儀

北京科儀真空技術(shù)有限公司是國內(nèi)新興的一家專業(yè)從事真空領(lǐng)域的高新技術(shù)企業(yè)。

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏,簡便易操作,儀器反應靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。按照施漏氣體方法的不同,又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

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用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低;檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高;它不會對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患;價格低。

質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體,主要原因如下:

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因為本底小,由某些原因引起本底的波動,亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應出來,靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬Ψ肿淤|(zhì)量為4),易于穿過漏孔。這樣,氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大,容易發(fā)現(xiàn),靈敏度高。

3、氦是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學反應,不會污染被檢件,使用安全。

4、在氦兩側(cè)的是氫(質(zhì)荷比為2)和雙電荷原子碳(質(zhì)荷比為6),質(zhì)荷比都與氦相差較大。氦質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應用提供廣泛的測試方法,含有渦輪分子泵、內(nèi)置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面,以及可選功能組件。這樣,它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大,容易分開,定標找氦峰時,不易受其他離子的干擾,因此就降低了對分析器制造精度的要求,易于加工。同時,分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過,提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能(如質(zhì)量小、易通過漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有易1爆危險,另一方面在油擴散泵中,由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫,使氫本底極高且波動大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。

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氦氣檢漏

氦質(zhì)譜檢漏的檢測精度高,可達到1×10-7Pa·m3/s。環(huán)境溫度較好控制在23℃附近,因為標準漏孔的出廠標稱漏率對應的環(huán)境溫度一般為23℃。電池氦檢前先將電池里的空氣抽掉,然后注入氦氣,用氦質(zhì)譜檢漏儀探測有沒有氦氣漏出,從而判斷電池的氣密性是否完好。電池氦檢一般為兩種方式:一種是在電池生產(chǎn)的中間環(huán)節(jié),即在電池烘干注液之前進行檢漏,電芯在真空箱內(nèi)充氦氣及檢測,此法可以檢測電池蓋板、蓋板焊接及電芯殼體等部位的氣密性是否達標;另一種是在成品環(huán)節(jié)檢漏,電芯在箱外充氦,電芯注入電解液的同時將氦氣充入電芯內(nèi)部,然后將電池放入真空箱內(nèi)進行檢漏。

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