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一六儀器 專業(yè)測(cè)厚儀 多道脈沖分析采集,先進(jìn)EFP算法 X射線熒光鍍層測(cè)厚儀
應(yīng)用于電子元器件,LED和照明,家用電器,通訊,汽車(chē)電子領(lǐng)域.EFP算法結(jié)合精準(zhǔn)定位決了各種大小異形多層多元素的涂鍍層厚度和成分分析的業(yè)界難題
薄膜是指在基板的垂直方向上所堆積的1~104的原子層或分子層。在此方向上,薄膜具有微觀結(jié)構(gòu)。
理想的薄膜厚度是指基片表面和薄膜表面之間的距離。由于薄膜僅在厚度方向是微觀的,其他的兩維方向具有宏觀大小。所以,表示薄膜的形狀,一定要用宏觀方法,即采用長(zhǎng)、寬、厚的方法。因此,膜厚既是一個(gè)宏觀概念,又是微觀上的實(shí)體線度。
由于實(shí)際上存在的表面是不平整和連續(xù)的,而且薄膜內(nèi)部還可能存在著、雜質(zhì)、晶格缺陷和表面吸附分子等,所以,要嚴(yán)格地定義和測(cè)量薄膜的厚度實(shí)際上是比較困難的。膜厚的定義應(yīng)根據(jù)測(cè)量的方法和目的來(lái)決定。
經(jīng)典模型認(rèn)為物質(zhì)的表面并不是一個(gè)抽象的幾何概念,而是由剛性球的原子(分子)緊密排列而成,是實(shí)際存在的一個(gè)物理概念。
形狀膜厚:dT是接近于直觀形式的膜厚,通常以u(píng)m為單位。dT只與表面原子(分子)有關(guān),并且包含著薄膜內(nèi)部結(jié)構(gòu)的影響;
質(zhì)量膜厚:dM反映了薄膜中包含物質(zhì)的多少,通常以μg/cm2為單位,它消除了薄膜內(nèi)部結(jié)構(gòu)的影響(如缺陷、、變形等);
物性膜厚:dP在實(shí)際使用上較有用,而且比較容易測(cè)量,它與薄膜內(nèi)部結(jié)構(gòu)和外部結(jié)構(gòu)無(wú)直接關(guān)系,主要取決于薄膜的性質(zhì)(如電阻率、透射率等)。
江蘇一六儀器 X熒光光譜測(cè)厚儀
下照式設(shè)計(jì):可以快速方便地定位對(duì)焦樣品。
無(wú)損變焦檢測(cè):可對(duì)各種異形凹槽進(jìn)行無(wú)損檢測(cè),凹槽深度范圍0-90mm。
微聚焦射線裝置:可檢測(cè)面積小于0.002mm2的樣品,可測(cè)試各微小的部件。
接收:即使測(cè)試0.01mm2以下的樣品,幾秒鐘也能達(dá)到穩(wěn)定性。
精密微型滑軌:快速精準(zhǔn)定位樣品。
EFP先進(jìn)算法軟件:多層多元素,甚至有同種元素在不同層也難不倒EFP算法軟件。
江蘇一六儀器有限公司是一家專注于光譜分析儀器研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售的高新技術(shù)企業(yè)。公司位于上海和蘇州中間的昆山市城北高新區(qū)。我們專業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)具備十年以上的從業(yè)經(jīng)驗(yàn),經(jīng)與海內(nèi)外多名專家通力合作,研究開(kāi)發(fā)出一系列能量色散X熒光光譜儀
X射線熒光測(cè)厚儀操作注意事項(xiàng):
測(cè)厚儀操作時(shí)候需要注意的:
技術(shù)指標(biāo):
1 分析元素范圍:Cl(17)-U(92)
2 同時(shí)可分析多達(dá)5層鍍層以上
3 分析厚度檢出限高達(dá)0.01μm
4 多次測(cè)量重復(fù)性高可達(dá)0.01μm
5測(cè)量時(shí)間:5s-300s
6 計(jì)數(shù)率:0-8000cps
測(cè)厚儀操作流程
打開(kāi)儀器開(kāi)關(guān)----在電腦上開(kāi)啟軟件-------開(kāi)高壓鑰匙-------聯(lián)機(jī)------預(yù)熱-----峰位校正------新建程式------選擇相應(yīng)的程式-----測(cè)試樣品----出報(bào)告