無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越高，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

無塵車間凈化設(shè)備的作用主要在于去除空氣中的懸浮顆粒物（灰塵、花粉等），殺滅吸附其上的病毒和細(xì)菌；同時(shí)吸附分解空氣中有毒有害氣體以提高室內(nèi)空氣清潔度，實(shí)現(xiàn)室內(nèi)空氣凈化，選購(gòu)空氣凈化設(shè)備時(shí)應(yīng)注意以下事項(xiàng)：  

一、安全性：經(jīng)過了部門的安全檢測(cè)認(rèn)證，保證凈化設(shè)備的使用安全

二、適用性：根據(jù)需要凈化的污染物種類選擇空氣凈化設(shè)備，或者直接選擇能夠?qū)崿F(xiàn)新風(fēng)的新風(fēng)系統(tǒng)。

三、使用壽命：隨著凈化過濾膽趨于飽和，凈化器的吸附能力將下降，所以消費(fèi)者應(yīng)選擇具有再生功能的凈化過濾膽，以延長(zhǎng)其壽命，選擇經(jīng)過質(zhì)量驗(yàn)證的產(chǎn)品，有質(zhì)量保證。

四、凈化效率：房間較大，應(yīng)選擇單位凈化風(fēng)量大的空氣凈化設(shè)備；例如15平方米的房間應(yīng)選擇單位凈化風(fēng)量在120立方米／小時(shí)的凈化設(shè)備

五、過濾材料：好的過濾材料(如空氣過濾器濾材)吸附0.3微米以上污染物的能力高達(dá)99.9%以上；如果室內(nèi)煙和塵污染較重，可選擇除塵效果較佳的凈化設(shè)備，如果空氣不流通，可以選擇新風(fēng)排氣的新風(fēng)系統(tǒng)。  

六、售后服務(wù)：應(yīng)選擇售后服務(wù)完善的廠家生產(chǎn)的產(chǎn)品。

清潔車間不同空氣潔凈度的空氣過濾器的選擇和布置：對(duì)于300,000級(jí)空氣凈化處理，可以使用亞過濾器代替過濾器; 100,10000和100000空氣的空氣潔凈度對(duì)于凈化處理，應(yīng)使用用于初級(jí)，中級(jí)和過濾器的三級(jí)過濾器;中效或空氣過濾器應(yīng)根據(jù)小于或等于額定風(fēng)量選擇;中效空氣過濾器應(yīng)集中在凈化空調(diào)的正壓段;應(yīng)在吹掃空調(diào)系統(tǒng)的末端放置或低效的空氣過濾器。