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影響減薄機(jī)減薄硅片平整度的因素有哪些?
減薄前將硅片粒結(jié)合在行星齒輪片上的沾片方法是十分重要的。因?yàn)楫?dāng)沾片的方法不合理時(shí),減薄后的硅片厚度公差將會(huì)隨之增大,所以在沾片前我們要故的首步是將硅片按厚度分好檔,然后把硅片用蠟均勻地沾在行星齒輪片正、反兩面上,需要注意的是同一輪研磨的四塊或五塊行星齒輪片上的硅片厚度-定要均勻,如果硅片不按照厚度去分檔,而任意沾片,想要提高減薄后的硅片厚度公差是相對(duì)比較困難的。
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硅片高速減薄機(jī)特點(diǎn)
北京凱碩恒盛科技有限公司主營(yíng)項(xiàng)目:雙面研磨機(jī),內(nèi)圓磨床,外圓磨床,減薄機(jī),軸承磨加設(shè)備,汽車(chē)零部件磨床,砂輪,刀具等。
硅片高速減薄機(jī)特點(diǎn):
1.可使工件加工厚度減薄到0.02mm厚而不會(huì)破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。
2.減薄,LED藍(lán)寶石襯底每分鐘可減薄48um。硅片每分鐘可減薄250um。
3.系列研磨機(jī)采用CNC程控系統(tǒng),觸摸屏操作面板。
立式減薄機(jī)IVG-200S
設(shè)備概述:
名稱(chēng): 立式減薄機(jī)
型號(hào): IVG-200S
該設(shè)備采用立式主軸結(jié)構(gòu),工作時(shí)磨盤(pán)與工件盤(pán)同時(shí)旋轉(zhuǎn),磨盤(pán)的進(jìn)給采用微米步進(jìn)電機(jī)進(jìn)給系統(tǒng),磨盤(pán)采用杯式金剛石磨盤(pán),不但加工精度高,而且加工效率很高,為普通研磨效率的10倍以上。該系列設(shè)備廣泛應(yīng)用各類(lèi)半導(dǎo)體晶片、壓電晶體、光學(xué)玻璃、陶瓷、藍(lán)寶石襯底、FDD表面、電子過(guò)濾器、碳化硅等材料的超精密平面加工。