半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門(mén)類(lèi)可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類(lèi)。例如在體內(nèi)某些酶的催化作用下，所攝取食物中的葡萄糖與氧氣進(jìn)行一系列復(fù)雜的、緩和的氧化反應(yīng)。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級(jí)和使用場(chǎng)合，可分為電子級(jí)，LSI（大規(guī)模集成電路）級(jí)，VLSI（超大規(guī)模集成電路)級(jí)和ULSI(特大規(guī)模集成電路）級(jí)。    

           近幾年來(lái)，智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國(guó)超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場(chǎng)需求量明顯增長(zhǎng)，電子特種氣體的國(guó)產(chǎn)化已是大勢(shì)所趨。目前在發(fā)展微電漿元件上有兩個(gè)主要的方向:(1)觀察電漿在微米尺寸與奈米尺寸之下的物理現(xiàn)象與光電特性，(2)發(fā)展不同結(jié)構(gòu)與材料來(lái)使得微電漿可以與光電科技等不同領(lǐng)域作整合應(yīng)用。據(jù)了解，我國(guó)在國(guó)產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展：國(guó)產(chǎn)高純氨改變了國(guó)外氣體公司壟斷市場(chǎng)的格局，高純四氟化碳“有價(jià)無(wú)貨”時(shí)代也宣告結(jié)束，高純已成功打開(kāi)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)。

電子氣體主要包括：、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級(jí)等.

其中六氟化硫、電子級(jí)、、磷烷使用較多。

汽車(chē)高壓氙氣燈的發(fā)光原理是先透過(guò)增壓器將車(chē)上12伏的直流電壓瞬間增壓至23000伏的電流，通過(guò)沒(méi)有鎢絲超高壓產(chǎn)生的兩極電弧，經(jīng)過(guò)高壓振幅激發(fā)水晶玻璃管內(nèi)的氙氣電子游離，在兩電極之間產(chǎn)生有如白晝般強(qiáng)烈的光源，HID氙氣燈取代傳統(tǒng)鹵素?zé)魧⑹瞧?chē)發(fā)展的大趨勢(shì)。藉由管內(nèi)導(dǎo)通的電流(電子被加速），形成氣體放電狀態(tài)，而發(fā)出光。

 一般車(chē)輛原廠的鹵素大燈大都需要耗費(fèi)55－105w上下的電力，而HID氣體放電大燈組在安定器的穩(wěn)定作用下，運(yùn)行電流僅為鹵素?zé)舻囊话耄骄恍枰?5w的電力來(lái)供應(yīng)氙氣燈泡發(fā)光。至于省下的電力，就等于省下的油錢(qián)。

 正常的HID燈光通量是2400流明左右，是普通鹵素?zé)舻娜兑陨?。HID燈的色溫由3000k到超過(guò)12000k；燈的色溫越高，它對(duì)霧和雨的穿透力越差。“零位空氣”可以用來(lái)調(diào)整儀表的零位，也可以用來(lái)提供一種低碳?xì)浠衔锖康难趸瘎?，以供分析器作用。而?000k左右的光色正好是白略微開(kāi)始轉(zhuǎn)藍(lán)的色溫，也接近正午日光的顏色，人眼的接受度高。這樣的燈光用在車(chē)輛的夜間照明上，可以有效減少駕駛?cè)说囊曈X(jué)疲勞，車(chē)燈亮度的提高也有效擴(kuò)大了車(chē)前方的視覺(jué)范圍，從而營(yíng)造出更為安全的駕駛條件。

高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。對(duì)于不同類(lèi)別的氣體，純度指標(biāo)不同。

例如對(duì)于氮，氫，，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；

而對(duì)于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；

對(duì)于碳?xì)浠衔?，純度?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。

高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮、氫、、氦可作為運(yùn)載氣和保護(hù)氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。