本實(shí)施方式中,邊緣曝光裝置20架設(shè)于基板輸送機(jī)構(gòu)50上,且包括邊緣曝光機(jī)21、CXD影像處理器22及驅(qū)動(dòng)裝置23。邊緣曝光機(jī)21與基板S的邊緣對(duì)齊設(shè)置。CXD影像處理器22與邊緣曝光機(jī)21連接,例如固定于邊緣曝光機(jī)21的前端,用于擷取基板S和邊緣曝光機(jī)的邊緣的影像,并通過(guò)該影像測(cè)定基板S的偏移量。驅(qū)動(dòng)裝置23與邊緣曝光機(jī)21和CXD影像處理器22連接,驅(qū)動(dòng)裝置23根據(jù)基板S的偏移量驅(qū)動(dòng)邊緣曝光機(jī)20移動(dòng),以補(bǔ)償偏移量。該基板的偏移量是指基板S的邊緣相對(duì)于邊緣曝光機(jī)21的偏移量。
基板S沿圖中X軸方向移動(dòng),由CXD影像處理器22擷取視野內(nèi)影像,CCD影像處理器22根據(jù)該影像計(jì)算偏移量,即,基板S邊緣Rl與CCD影像處理器22的邊緣R2之間的偏移量Λ y,并將該偏移量的信息提供給驅(qū)動(dòng)裝置23,驅(qū)動(dòng)裝置23根據(jù)接收到的偏移量的信息提供相應(yīng)的輸出量,帶動(dòng)與驅(qū)動(dòng)裝置23的輸出端連接的邊緣曝光機(jī)21沿Y軸方向移動(dòng),與基板S邊緣Rl對(duì)齊,從而進(jìn)行準(zhǔn)確的邊緣曝邊。

金屬蝕刻后處理需要注意什么問(wèn)題:稀有金屬蝕刻后必須除去絲印油墨。一般的耐酸油墨易溶于堿中。將蝕刻板浸入40~60g/L的中,溫度50~80,浸漬數(shù)分鐘即可退去油墨。退除后,假如要求光亮度高,可進(jìn)行拋光,然后進(jìn)行染色,染色后為了防止變色及增加耐磨、耐蝕性,能夠噴涂透明光漆。對(duì)于一些金屬自身是耐蝕性能好而且不染色的,也能夠不涂透明漆,要根據(jù)實(shí)際需要而定。