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佛山市錦城鍍膜有限公司以耐高溫車輛燈具注塑 鍍膜為主的專業(yè)生產(chǎn)廠家,公司秉承“以質(zhì)取勝,求真務(wù)實(shí),顧客至上”理念,歡迎廣大客戶光臨了解.
鍍膜工藝流程中工藝參數(shù)的控制和對膜層沉積的影響:
本底漏率:本底漏率是指真空室在未加入氣體單位之前本身的單位漏率,漏率越大,進(jìn)入爐內(nèi)的雜氣就越多,不管真空度多高,這會(huì)嚴(yán)重影響鍍膜過程中爐內(nèi)氣氛的純度和工件表面的潔凈度,會(huì)破壞膜層的結(jié)合力和膜層顏色的純度。
靶基距:靶基距是影響成膜速率的重要因素之一,隨著靶基距增加,被濺射材料射向基片時(shí)與氣體分子碰撞的次數(shù)增多,同時(shí)等離子體密度也減弱,動(dòng)能減少,沉積速率降低,但膜層外觀較好。靶基距太小,沉積太快,工件溫升大,膜層外觀差
輝光清洗:對工件施加負(fù)偏壓,產(chǎn)生輝光放電,利用ya離子轟擊工件表面,這種輝光放電清洗作用比較柔和,一般采取由弱到強(qiáng)的轟擊清洗順序,是怕工件太臟時(shí)一開始就強(qiáng)轟擊,可能產(chǎn)生強(qiáng)烈的打火而損傷工件。
佛山市錦城鍍膜有限公司以耐高溫車輛燈具注塑 鍍膜為主的專業(yè)生產(chǎn)廠家,公司秉承“以質(zhì)取勝,求真務(wù)實(shí),顧客至上”理念,歡迎廣大客戶光臨了解,我們將為你的產(chǎn)品錦上添花.
離子鍍工藝則有所不同,雖然也是在真空罩內(nèi)進(jìn)行的,但這時(shí)鍍膜過程是以電荷傳遞的形式來實(shí)現(xiàn)的。也就是說,蒸發(fā)料的粒子作為帶正電荷的高能離子在高壓陰極(即工件)的吸引下,以很高的速度注入到工件表面。相當(dāng)于一個(gè)從槍g中射出的高速彈頭,可以穿入靶體很深,在工件上形成一種附著牢固的擴(kuò)散鍍層。鍍膜工藝流程中工藝參數(shù)的控制和對膜層沉積的影響:烘烤溫度:真空室抽氣時(shí)烘烤有利于真空室和工件解吸已吸附的空氣和水氣,這是保證膜色調(diào)純正的重要因素之一。
普通真空鍍膜時(shí),蒸發(fā)料粒子大約只以一個(gè)電子伏特的能量向工件表面蒸鍍,在工件表面與鍍層之間,形成的界面擴(kuò)散深度通常僅為幾百個(gè)埃(10000埃=1微米=0.0001厘米)。而離子鍍時(shí),蒸發(fā)料粒子電離后具有三千到五千電子伏特的動(dòng)能。當(dāng)其高速轟擊工件時(shí),不但沉積速度快,而且能夠穿透工件表面,形成一種注入基體很深的擴(kuò)散層,離子鍍的界面擴(kuò)散深度可達(dá)四至五微米,也就是說比普通真空鍍膜的擴(kuò)散深度要深幾十倍,甚至上百倍,因而彼此粘附得特別牢。鍍膜原理陰極真空磁控濺射的特點(diǎn):膜層厚度均勻、鍍膜速度快、基板溫度低。