電子氣體污染控制要求日趨嚴(yán)格隨著電子消費(fèi)品的升級(jí)換代，產(chǎn)品制造尺寸越來越大，產(chǎn)品良率和缺陷控制越來越嚴(yán)格，整個(gè)電子工業(yè)界對(duì)電子氣體氣源純度，以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來越苛刻。基本上工業(yè)界對(duì)電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術(shù)指標(biāo)，直接與分析儀器技術(shù)進(jìn)步帶來的較低檢測極限（直接關(guān)聯(lián)。如傳統(tǒng)的激光顆粒測試儀可測到微米，而核凝結(jié)技術(shù)可達(dá)到微米。目前超大規(guī)模集成電路制造線寬已經(jīng)發(fā)展到納米，對(duì)于大宗氣體的純度都要求在級(jí)別，顆粒度控制直指分析儀器的下限。實(shí)驗(yàn)室超高亮度技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到以上，對(duì)于氫氣和氨氣的純度控制要求也都小于氨氣則釆用多級(jí)精餾生產(chǎn)技術(shù)指標(biāo)到達(dá)的白氨的氫氣需要采用先進(jìn)的鈀膜純化器提純至。

電子氣體多以集中式供應(yīng)為趨勢

電子氣體多以集中式供應(yīng)為趨勢，特種氣體集中放置在氣體房。輸送系統(tǒng)的數(shù)量是根據(jù)機(jī)臺(tái)對(duì)流量的需求進(jìn)行合理配置。特氣輸送設(shè)備必須采用全自動(dòng)切換供氣，而且多設(shè)計(jì)了備用設(shè)備。對(duì)于低蒸汽壓氣體（等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精準(zhǔn)控制流量，在氣源端一般會(huì)考慮配置精度的壓力變送器，電子秤，溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)。對(duì)于大流量的不但要考慮管路壓降和液化鋼瓶蒸發(fā)吸熱對(duì)流量的影響，還要考慮氣體經(jīng)過調(diào)壓閥減壓后的焦耳湯普遜效應(yīng)。

如何保證電子氣體的安全儲(chǔ)存

如何保證電子氣體的安全儲(chǔ)存、使用操作，系統(tǒng)的工藝和產(chǎn)品本征安全設(shè)計(jì)，在眾多的國際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范如，等都有很詳細(xì)的規(guī)定，目前中國國內(nèi)也正在起草針對(duì)電子特種氣體的國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。通常而言，會(huì)根據(jù)氣體性質(zhì)和相容性，將氣體房分成可燃?xì)怏w房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房等。氣體房規(guī)劃需要考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險(xiǎn)物總量控制等等。針對(duì)輸送系統(tǒng)，特別是系統(tǒng)，因總量較大，應(yīng)釆用隔離式建筑。氣體房和氣柜應(yīng)采用自動(dòng)噴淋系統(tǒng)。而三氟化氯遇水反應(yīng)，需要采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。

使用電子氣體的工廠抽風(fēng)系統(tǒng)，也根據(jù)危險(xiǎn)品性質(zhì)分成了普通排風(fēng)系統(tǒng)（，酸性排風(fēng)系統(tǒng)（，溶劑排風(fēng)系統(tǒng)（和氨氣排風(fēng)系統(tǒng)（。換鋼瓶時(shí)的吹掃尾氣，也建議排放至尾氣處理器中。輸送管道一般采用無縫管。施工釆用自動(dòng)軌道焊接，經(jīng)保壓、氦檢漏和純度測試。對(duì)于毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。一些毒氣體如磷烷等，安全輸送系統(tǒng)（正在被廣泛使用。其鋼瓶內(nèi)采用負(fù)壓吸附的方式，用真空法輸送，從根本上避免了氣體的泄漏。氣體偵測系統(tǒng)（是全廠生命安全系統(tǒng)（的重要組成部分。對(duì)于偵測器的要求，除了精度高，反應(yīng)迅速外，還應(yīng)具備自檢功能。