一六 熒光測(cè)厚儀 十年以上研發(fā)團(tuán)隊(duì) 集研發(fā)生產(chǎn)銷售一體

元素分析范圍:氯(CI)- 鈾(U)   厚度分析范圍:各種元素及有機(jī)物

一次可同時(shí)分析:23層鍍層,24種元素 厚度檢出限:0.005um

（一）、內(nèi)部結(jié)構(gòu)

   X熒光光譜測(cè)厚儀機(jī)型很多，但是其內(nèi)部結(jié)構(gòu)如果先天不足，后期的外部結(jié)構(gòu)無(wú)論自動(dòng)化多高，也無(wú)法完全滿足客戶需求。內(nèi)部結(jié)構(gòu)重要的3點(diǎn)：

1、X熒光發(fā)射和CCD觀測(cè)是否同步和垂直？

2、測(cè)試樣品是否可以變化測(cè)頭到樣品的距離？

3、X光照射面積從出口到樣品的擴(kuò)散情況。

（二）、各種內(nèi)部結(jié)構(gòu)的優(yōu)缺點(diǎn)

   1、X熒光發(fā)射和CCD觀測(cè)樣品只有同步且垂直才不會(huì)因?yàn)闃悠返母叩蜕顪\變化而改變測(cè)試到樣品的位置，才能保證定位精準(zhǔn)，同時(shí)減少與探測(cè)器或計(jì)數(shù)器的夾角，夾角小測(cè)試時(shí)

受樣品曲面或者傾斜影響小。

2、測(cè)試樣品距離可變化才能測(cè)試高低不平帶凹槽的樣品工件，同時(shí)也兼顧好平面樣品的測(cè)試。但是它需要配備變焦鏡頭和變焦

補(bǔ)償射線的算法。

3、X光照射面積從出口到樣品的擴(kuò)散過(guò)于嚴(yán)重會(huì)導(dǎo)致無(wú)法測(cè)試樣品工件上較小的平面位置，如果減小出口（準(zhǔn)直器直徑），又會(huì)嚴(yán)重耗損X光的強(qiáng)度。

因此一臺(tái)此類儀器的小準(zhǔn)直器不是關(guān)鍵，但是測(cè)試面積卻是個(gè)重要的指標(biāo)。

江蘇一六儀器 XTU系列 XTU-BL X熒光光譜儀

儀器規(guī)格：

   外形尺寸 ：550 mm x 660mm x 470 mm （長(zhǎng)x寬x高）

   樣品倉(cāng)尺寸 ：500mm×660 mm ×215mm （長(zhǎng)x寬x高）

   儀器重量 ：55kg

   供電電源 ：交流220±5V

   功率 ：330W

   環(huán)境溫度：15℃-30℃

   環(huán)境相對(duì)濕度：<70%

EDX是借助于分析試樣發(fā)出的元素特征X射線波長(zhǎng)和強(qiáng)度實(shí)現(xiàn)的， 根據(jù)不同元素特征X射線波長(zhǎng)的不同來(lái)測(cè)定試樣所含的元素。通過(guò)對(duì)比不同元素譜線的強(qiáng)度可以測(cè)定試樣中元素的含量。通常EDX結(jié)合電子顯微鏡使用，可以對(duì)樣品進(jìn)行微區(qū)成分分析。

常用的EDX探測(cè)器是硅滲鋰探測(cè)器。當(dāng)特征X射線光子進(jìn)入硅滲鋰探測(cè)器后便將硅原子電離，產(chǎn)生若干電子-空穴對(duì)，其數(shù)量與光子的能量成正比。（二）、各種外部結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)1、上照射方式用于照射(激發(fā))的X射線是采用由上往下照射方式的設(shè)備稱為上照射儀器。利用偏壓收集這些電子空穴對(duì)，經(jīng)過(guò)一系列轉(zhuǎn)換器以后變成電壓脈沖供給多脈沖高度分析器，并計(jì)數(shù)能譜中每個(gè)能帶的脈沖數(shù)。

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江蘇一六儀器   X熒光光譜測(cè)厚儀 優(yōu)點(diǎn)    

X射線熒光能譜儀沒(méi)有復(fù)雜的分光系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。X射線激發(fā)源可用X射線發(fā)生器，也可用性同位素。能量色散用脈沖幅度分析器。探測(cè)器和記錄等與X射線熒光光譜儀相同。

    X射線熒光光譜儀和X射線熒光能譜儀各有優(yōu)缺點(diǎn)。前者分辨率高，對(duì)輕、重元素測(cè)定的適應(yīng)性廣。對(duì)高低含量的元素測(cè)定靈敏度均能滿足要求。從設(shè)計(jì)上分為橫窗型(sidewindowtype)和縱窗型(endwindowtype)兩種X射線管，都是設(shè)計(jì)成能夠把X射線均勻得照射在樣品表面的結(jié)構(gòu)。后者的X射線探測(cè)的幾何效率可提高2～3數(shù)量級(jí)，靈敏度高。可以對(duì)能量范圍很寬的X射線同時(shí)進(jìn)行能量分辨(定性分析)和定量測(cè)定。對(duì)于能量小于2萬(wàn)電子伏特左右的能譜的分辨率差。